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1-50章
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共65章
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版权信息
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内容简介
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前言
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第一章 MEMS概论
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1.1 MEMS的定义
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1.2 MEMS的基础理论
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1.3 MEMS的制造技术
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1.4 MEMS技术的应用
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1.5 MEMS的发展前景
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习题
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参考文献
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第二章 机械微传感器的应用
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2.1 位移微传感器
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2.2 速度和流速微传感器
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2.3 微型加速度计
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2.4 力、压强和应变微传感器
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2.5 质量微传感器
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习题
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参考文献
第三章 热微传感器的应用
3.1 热机械传感器
3.2 热敏电阻
3.3 热二极管
3.4 热晶体管
3.5 热 电 偶
3.6 其他电测量热微传感器
3.7 其他非电测量热微传感器
习题
参考文献
第四章 磁微传感器的应用
4.1 霍尔效应器件
4.2 磁阻效应器件
4.3 磁敏二极管和磁敏三极管
4.4 磁通门微磁强计
4.5 隧道效应磁强计
4.6 超导量子干涉磁强计
习题
参考文献
第五章 光学微传感器与辐射微传感器应用
5.1 光学微传感器
5.2 辐射微传感器
习题
参考文献
第六章 化学微传感器与生物微传感器的应用
6.1 化学微传感器
6.2 生物微传感器
习题
参考文献
第七章 声波微传感器的应用
7.1 声波微传感器概述
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