ESD是英文“Electrostatic Discharge”(静电放电)的缩写,有时它也指“Electrostatic Damage”(静电损伤,又称静电放电损伤、ESD损伤)。本章主要概述静电产生和放电的原理和基础知识,并介绍ESD控制技术和设备设计的基本原则。
静电荷的积聚有多种途径,带电物体周围会形成一个静电场,并通过以下3种方式引发ESD事件:
● 静电敏感部位被高压电场一次性击穿;
● 放电电流直接通过器件引发ESD事件;
● 瞬态电场或磁场等外力直接作用于器件引发ESD事件。
ESD事件源自物体表面与周围环境的电位差。没有电位差,就不存在电场,也就不会形成ESD电流。因此,ESD预防措施应该致力于把物体表面电压和电场保持在较低水平,避免发生破坏性的静电放电。
阐释静电荷积聚及静电放电的起因,有助于揭示在实际生产生活中可能面临的各种ESD风险。本章将对这部分内容进行概述。