序

集成电路产业作为国家经济和社会发展的战略性、基础性、先导性产业，推动着世界前沿技术的创新与发展。该产业涵盖了芯片设计、制造、封装测试、装备和材料等关键领域。目前，我国在集成电路封装领域已实现突破，在设计领域也初露锋芒。然而，先进微纳制造技术仍亟待高质量发展。要实现集成电路产业的高水平发展，既要重视核心技术的创新，也要关注人才的培养。因此，需要从教育、科技与人才培养的“三位一体”角度统筹推动产业的高质量发展。

针对这一需求，高校应根据产业的发展方向，及时调整和优化课程体系与培养方案，紧跟产业技术更新的步伐，培养符合行业需求的高素质人才。作为一所以服务国家战略为使命的小规模、高水平、国际化的研究型创新型大学，上海科技大学为加强学生在集成电路先进工艺制造方面的实践能力，建立了材料器件中心微纳加工平台。该平台拥有1 600平方米的百级和千级超净空间，配备了近百台国内外先进的微纳加工和测试设备，包括广泛应用于工业界的ASML光刻机等，使学生能够近距离接触集成电路行业的核心工艺与设备。

在此基础上，为了培养集成电路先进工艺制造的卓越工程师，上海科技大学在上海市教委领导下，开展了集成电路制造工艺紧缺人才的研究生培养、研究生课程、用户培训和社会化实训“四位一体”培养体系建设与实践。该体系融合于学校材料科学与工程的“双一流”学科建设，强化了功能材料对集成电路制造的贡献度，积极推进了集成电路专项班的先进工艺制造和集成电路与系统设计等项目。近五年来，学校依托材料器件中心微纳加工平台，培训了来自各高校和高新企事业的技术人员近6 000人次，并建立了长期化、网格化的专业人才实践培养机制。每年为产业界输送约50名熟练掌握微纳制造技术的创新型、应用型硕士毕业生。

为进一步推进集成电路先进制造的人才培养，上海科技大学推出了应用型交叉融合专业硕士培养和实践课程。其中，材料器件中心开设了量子材料与微纳器件制造技术Ⅰ、Ⅱ和造芯大讲堂等多门专业硕士课程，并依托“材料与化工”和“电子信息”两个专业学位点培养专业硕士，材料器件中心微纳加工平台还为本教材的实验培训提供了高质量实验条件。基于这些实践经验，材料器件中心组建了教材编写小组，与产业界数十名专家和工程技术人员合作，整理并编纂了实践教材《集成电路先进工艺制造》，填补了我国在集成电路领域紧密结合实际应用的高水平实验教材的空白。

这本教材将理论与实践紧密结合，不仅涵盖了必要的理论基础，还强调了这些理论在实际工艺过程中的应用。书中从集成电路制造的工艺、设备、厂务三个既相互交叉又各不相同的领域出发，系统地阐述具体的理论与实践应用。内容涵盖了集成电路行业的现状与发展趋势，全面覆盖了光刻、薄膜沉积、化学机械抛光、离子注入、刻蚀、湿法清洗、键合及量测技术等主流工艺技术，并深入介绍了步进式光刻机、电子束曝光机等大型高精尖设备的工作原理与应用。书中还详细介绍了超净室的设计、安全管理及特种气体与化学品处理等先进技术。读者将能全方位理解集成电路FAB厂中“工艺、设备、厂务”的内涵和知识，助力他们将理论与实践融会贯通地应用于当期或未来的集成电路制造工作中。因此，这本教材将成为国内各高校培养应用型、技能型集成电路先进制造领域专业人才的入门教材，也是从事该领域工程师和管理者的重要参考书籍。

在上海科技大学全面推进的“AI for Science”研究方向下，材料器件中心已开始探索“AI for NanoFab”。通过构建和应用制造工艺大数据，旨在使人工智能在集成电路先进制造工艺的认知和掌控中发挥重要作用，进一步助力集成电路制造工艺的发展。这些未来的探索成果将为教材的科技内涵增添新的亮点，助力我国集成电路产业迈向更高水平。

上海科技大学