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为适应大规模生产，供应商生产出了整合了HMDS气相成膜、匀胶、软烘、PEB、显影和坚膜等功能的匀胶显影一体机，它具备以下优势。
（1）提高生产效率：一体机的整合设计使得工艺流程更加紧凑和连续，减少了样品的处理时间和设备转换时间，从而提高了生产效率。此外，更高级别的一体机可与曝光设备互连，实现更高级别的机械化联动，其生产效率可进一步提升。
（2）降低人力成本：一体机的自动化操作和连续加工流程减少了人为操作的需求，降低了人力成本和操作误差的风险。
（3）一致性和稳定性：通过一致的工艺参数和自动化控制，一体机可以实现对每个样品的一致性处理，提供更加稳定和可靠的工艺结果。
（4）节约空间：一体机整合了多个步骤，减少了设备的占用空间，特别适用于空间有限的生产环境。
（5）简化操作和管理：一体机集成了多个步骤，简化了操作流程和设备管理，降低了设备配置和操作的复杂性。
匀胶显影一体机的整合设计为大规模生产提供了优势，它能够提高生产效率、降低成本、具备一致性和稳定性，并节约空间和简化操作流程。这种设备广泛应用于工业生产中，特别是对产品质量和产能要求较高的场景。
晶圆在机械手的抓取下，沿着固定的U形路径从一个操作站（如匀胶、烘焙、显影等）移动到另一个站，因此匀胶显影一体机被称为轨道机（track）。现代一体机则通过机械手将晶圆递送进不同的腔室中，类似旅馆的各个房间，还可以有不同的“楼层”，并没有沿着轨道行进的感觉。
轨道机的主要子系统包括匀胶、显影（develop）、冷/热板（chill/hot plate）、晶圆传输/暂存（wafer transport/buffering）、供/排化学品（chemical supply/drain）、通信（communication）子系统。
根据是否与光刻机联机，可以将轨道机分为非联机（offline）设备和联机（inline）设备。
（1）非联机设备：不与光刻机联机作业。主要包括前道底部抗反射层（bottom anti-reflection coating，BARC）匀胶机和聚酰亚胺（polyimide film，PI）匀胶显影机。BARC匀胶机主要用于前道制程中光刻胶旋涂前的抗反射层旋涂，而PI匀胶显影机用于集成电路制造中晶圆加工环节的PI旋涂。
（2）联机设备：与光刻机联机作业。根据光刻工艺的曝光光源波长分类，光源波长越短，光刻机分辨率越高，制程工艺越先进。联机设备按照I线、KrF、ArF和ArFi的工艺发展路线进行演进。
图2-40为C＆D SEMI（美国）制造的型号为P8000的匀胶显影一体机的实物照片。与对产能无要求的需求相比，该类设备仅针对晶圆级样品的处理，包括4 in、6 in、8 in和12 in标准晶圆。
读者可通过扫描图2-40旁的二维码观看具体的操作流程视频。
图2-40 型号为P8000的匀胶显影一体机
要确保匀胶显影一体机能够稳定有效地运行，除了超净室必备的洁净度、温湿度、黄光、电力供应外，还需要配套的厂务动力设施主要如下。
（1）精确的温度控制系统：为了在匀胶和显影过程中获得最佳效果，需要精确控制工作环境的温度。这通常涉及高精度的空调系统。
（2）高效的气体过滤系统：以确保空气中不含有损害光刻胶或干扰显影过程的有害气体。同时，对于某些过程可能需要纯净的N 2 或其他气体的直接供应。
（3）震动控制系统：尽管匀胶和显影过程对震动的敏感度不及其他设备（如光刻机），但为保证设备稳定运行和工艺质量，仍需一定程度的震动控制或隔离。
（4）特殊废弃物处理系统：处理光刻过程中产生的化学废料，比如废溶剂和废光刻胶等，确保环保和安全。
（5）稳定清洁的水源供应：高纯度的水对于某些显影工艺非常关键，因此，匀胶显影一体机通常需要接入超纯水系统。
（6）化学品分配与储存系统：为了保证匀胶和显影过程中化学品的准确使用和安全储存，需要配备专业的化学品分配系统和安全存储设施。
（7）排风系统：在显影过程中，为了维持操作区域的安全和舒适，以及防止有害气体累积，需要高效的排风系统。
（8）电源稳定与UPS：高稳定性的电源供应对于保持设备稳定运行至关重要，而UPS可以在断电事件中保持设备至关重要部分的暂时运行。
匀胶显影一体机所需的厂务动力条件实物举例如图2-41所示。
图2-41 匀胶显影一体机所需的厂务动力条件实物举例
（a）真空泵；（b）废液回收系统；（c）纯水及厂务水供应系统；（d）高纯气体（CDA和N 2 ）；（e）独立排风装置。
目前，后道先进封装环节大多仅使用非联机设备；而在前道晶圆加工环节中，通常非联机和联机设备搭配使用，并且根据不同的工艺制程，设备配置也有所不同。
匀胶显影一体机的主要厂商有两家：东京电子和迪恩士。全球来看，东京电子在匀胶显影设备市场占有主导地位，2023年其市场份额达到90％。尽管东京电子在匀胶显影一体机领域的壁垒极高，但以芯源微为代表的中国设备厂商正加速追赶。其工艺水平与产品性能日益完善，中国前道匀胶显影的市场份额有望持续提升。