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学者们建立了一系列模型来识别不同服务环境下的服务属性，并介绍了服务的质量维度及其在服务行业中的适用性，促进了服务质量研究的快速发展。
服务质量模型最早是Grönroos（1992，1984）提出的（见图2-1）。他认为，企业想要成功，经营者必须了解顾客对企业所提供服务的感受。服务质量管理意味着将感知的质量与预期的质量相匹配，并尽可能缩小差距，以使顾客感到满意。他提出服务质量的三个维度。第一个维度是技术（结果）质量，即顾客在与服务公司的互动中所得到的结果。第二个维度是功能（过程）质量，即顾客如何获取技术质量。服务过程是顾客评价服务质量的重要环节，顾客得到的服务结果取决于他们的期望，接受服务的过程会影响他们对服务的评价和看法。通过比较顾客期望的服务质量和实际获得的服务质量，就可以得到感知服务质量。第三个维度是企业形象，即顾客对企业或品牌的看法。顾客的期望会被他们对企业的看法所影响。企业的形象主要建立在技术质量和功能质量之上，传统营销活动（广告、定价及公关）、口碑等是相对来说不太重要的形象影响因素。
图2-1 Grönroos模型
这是学术界首次尝试引入一个真实模型来测量感知服务质量。此模型的主要问题是没有对如何测量技术质量和功能质量进行解释。后来，Rust等（1994）在Grönroos模型的基础上添加了服务环境维度，进一步拓展了模型。他们将Grönroos模型中的技术质量维度称为服务产品，功能质量维度称为服务交付，但也未能对模型进行检验。
Grönroos模型是基于差异建立的模型。差异是指感知服务与期望服务的比较。Parasuraman等（1985）在差异模型的基础上，通过对消费者进行焦点小组访谈和对服务性企业高管进行深度访谈来了解他们对服务质量关键属性的看法，建立了服务质量的差距模型（见图2-2）。在这个模型中，上半部分是消费者对服务质量的看法，下半部分是高管访谈所揭示的服务差距。模型有5个差距要测量。
图2-2 差距模型
差距1：消费者期望与管理层对消费者期望的认知的差异；
差距2：管理层对消费者期望的认知与服务质量规范的差异；
差距3：服务质量规范与提供的服务之间的差异；
差距4：提供的服务与对消费者的外部宣传之间的差异；
差距5：消费者期望的服务与感知的服务之间的差异。
差距5取决于与营销方提供的服务质量相关的4个差距，即差距5是前4个差距的函数。
Parasuraman等（1985）在对消费者进行的焦点小组访谈中发现，无论哪种服务类型，消费者评估服务质量时使用的标准基本相似。这些标准被称为服务质量的决定因素，并被划分为10个类别，分别是：可靠性、响应性、能力、接触、礼貌、沟通、信誉、安全性、了解客户、有形性。可靠性是指服务性能和服务承诺的一致性，包含两层含义：第一，公司在第一次就能提供正确的服务；第二，公司兑现承诺。响应性是指员工提供服务的意愿，涉及服务的及时性。能力是指员工拥有履行服务所需的技能和知识。接触与服务的可接入、易接触程度有关。礼貌涉及服务人员的礼貌、尊重、体谅和友善程度。沟通意味着用客户能够理解的语言向他们提供信息，并倾听他们的意见。信誉涉及可信度、诚实度，包括是否将顾客的最大利益放在心上。安全性是指服务中有没有产生风险。了解客户是指努力了解客户需求。有形性是指服务的物质环境（物理设施、人员形象、服务的工具或设备等）。
Parasuraman等于1988年对该模型进行了提炼和改进，模型的理论结构保持不变，但维度（服务质量决定因素）从10个缩减为5个，分别是：有形性、可靠性、响应性、保证性（包含沟通、能力、信誉、礼貌和安全性），以及移情性（包含接触和了解客户）。有形性是指物理设施、设备以及人员形象。可靠性是指能够可靠、准确地执行所承诺的服务。响应性是指愿意帮助客户并提供及时的服务。保证性是指员工具备应有的知识和礼貌以及他们促使客户产生信任的能力。移情性是指对顾客的关怀和个性化的关注。这5个维度构成了SERVQUAL量表，包含22个题项。他们发现从整体服务质量的相对重要性来看，5个维度中可靠性最重要，其次是保证性。
SERVQUAL作为服务质量测量工具，有如下优点：第一，它是一种标准、有效、可靠的多维度跨行业服务质量评估方法；第二，它是一种包含有限题项的简约测量工具，受访者易于接受；第三，它的标准化分析过程有助于解释结果（Rohini et al.，2006；Padma et al.，2009）。
SERVQUAL被应用于多个国家的多个行业。Natalisa等（1998）将SERVQUAL框架应用于对印度尼西亚航空服务的评估，发现对顾客满意度影响最大的维度是保证性。Tamimi等（2003）使用SERVQUAL框架测评阿联酋银行的服务质量，发现所有维度都对整体服务质量有显著影响。Alexandris等（2002）将SERVQUAL应用于评价希腊酒店的服务，发现影响最大的维度是有形性，其次是保证性。Lau等（2005）使用SERVQUAL来评估马来西亚豪华酒店的服务质量，发现有形性是酒店服务中最重要的影响因素。这些发现与Parasuraman等（1988）的观点并不一致。
尽管SERVQUAL模型被广泛应用于许多行业，但还是有学者提出该模型并未提供清晰的测量不同层次差距的方法（Brady et al.，2001；Seth et al.，2005）。Cronin等（1992）提出改进SERVQUAL模型，将服务表现（感知服务）作为衡量服务质量的标准。他们认为服务质量表现为消费者的态度，而服务表现是衡量服务质量的唯一标准；研究了服务质量与消费者满意度、购买意愿的关系，提出服务质量是消费者满意度的前因。对于服务质量的定义及测量，他们在SERVQUAL的基础上提出了新模型SERVPERF，该模型将服务表现作为服务质量的唯一度量。在新模型中，Cronin等（1992）选用可靠性、响应性、保证性、有形性和移情性测量服务质量，而并未选用“期望感知的差异”。研究发现，与SERVQUAL相比，SERVPERF能更准确地测量服务质量（Cronin et al.，1994；Seth et al.，2005）。
Jain等（2004）用印度德里8家快餐店的消费者调查数据对SERVQUAL和SERVPERF进行了比较，结果发现SERVPERF的收敛性和区分性比SERVQUAL更好，并且SERVPERF在解释整体服务质量的变化以及数据收集的便利性等方面具有优势。方宇通（2012）对公交公司服务质量的实证研究表明，SERVPERF在问卷答题效率、稳定性、解释能力、信度和效度等方面优于SERVQUAL。龚奇峰（2011）研究了教育服务行业服务品质、学员满意度和学员忠诚度的关系，发现SERVPERF在预测学员满意度与学员忠诚度方面的表现比SERVQUAL更为可靠。
Dabholkar等（1996）认为，虽然SERVQUAL的有效性在不同的服务部门（银行、电信、信用卡公司等）都得到了验证，但对某些部门（如零售店）并不适用。他们在SERVQUAL和SERVPERF两个模型的维度和结构的基础上提出了一个新的服务质量模型——层次模型（见图2-3），并对其进行了测试。层次模型分为三个层次：第一层次为服务质量（零售服务质量）；第二层次为主要维度（物理形态、解决问题、人际互动、政策和可靠性）；物理形态、人际互动以及可靠性这三个主要维度又进一步细化了第三层次的子维度，即外观和便利性对应物理形态，激发自信和礼貌/乐于助人对应人际互动，承诺和正确操作对应可靠性。为了检验模型以及模型的建构效度，他们仅测量和分析了顾客的感知，从而避免了分值不同导致的测量问题。尽管该模型表现出了更好的结构和更精确的因子，有效性得到了认可，但是需要更多的实证支持以及进一步发展才能将其推广应用到其他服务行业。
图2-3 层次模型1
Brady等（2001）在之前模型的基础上，提出了一个新的层次模型（见图2-4）。他们采纳了Dabholkar等（1996）的“服务质量感知是多层次、多维度的”这一观点，使用Grönroos（1984）模型的两个维度——消费者与员工之间的互动质量（功能质量）和结果质量（技术质量），并且参考了Rust等（1994）的研究，选取了实体环境质量（服务环境）作为第三个维度。模型的每个维度分别有三个子维度：态度、行为、专业知识对应互动质量维度，环境条件、设计和社会因素对应实体环境质量维度，等候时间、有形性和效价则对应结果质量维度。
图2-4 层次模型2
此模型整合了其他模型，提供了一种测量服务质量的新方法。这个层次模型通用性强，适用于各种服务行业。一些研究人员用此模型测量服务质量，并根据特定服务行业如医疗（Chaha et al.，2010）、移动医疗（Akter et al.，2010）、电话服务和美发（Pollack, 2009）等的不同情况，对主维度和子维度进行了调整。