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公元581年，隋文帝杨坚取代北周皇帝建立了隋朝，设御史台掌纠察弹劾，其长官为御史大夫，1人，从三品；改北齐的御史中丞为治书侍御史，设2人，从五品，为大夫之副；又设侍御史8人，从七品；殿内侍御史12人，正八品；监察御史12人，从八品；录事2人。御史直接对皇帝负责，由皇帝选用。隋炀帝即位后，多有所改革，设谒者、司隶二台，因此，隋代的监察机关由御史台、谒者台、司隶台三部分构成。
隋炀帝时，通过对御史台官吏员额及品位的增减，提高了掌侍从左右的侍御史的地位，加强对违犯皇权及侵犯皇帝安全的违法行为的纠察，提高监察御史的员额及品级，强化中央政府对地方的监察和管理。炀帝大业二年（606年），另设谒者台，“掌受诏劳问，出使慰抚，持节察按，及受冤枉而申奏之”，置谒者1人为台长，从四品，司朝谒者2人为副台长，从五品；以及通事谒者、议郎等职官。与谒者台同时，隋炀帝还设司隶台，以“六条”巡察京畿内外，监察官吏的奸隐或廉正。置司隶大夫1人为台长，正四品，别驾2人，从五品；以及刺史、诸郡从事等职官。隋代的监察机关，机构庞大，组织更加健全，监察对象及范围扩大，御史职有所专，是唐代御史台三院制的雏形。
隋代的谏官言谏系统设置于门下省。隋置门下省，将北齐的门下、集书两省职责合而为一，掌讽议、谏正，侍于皇帝左右。门下省设谏议大夫7人，从四品，以及纳言、给事黄门侍郎等一系列职官。谏议大夫在履行职权时，不受门下省最高长官纳言的约束。隋文帝时谏议大夫的职责，主要掌管献纳朝政得失，驳正君主违失，省读奏案，及封驳违失诰令等。隋代的谏官言谏系统后来成为唐代谏官的雏形。
隋代建立了健全的御史纠弹和谏官言谏监察系统。可是，中国监察制度最致命的弱点是皇权决定监察权，监察制度的制定是一回事，能否真正实行又是另一回事，而且能否施行在很大程度上取决于皇帝的个人作用。隋文帝时，监察机构的作用发挥还比较正常，到隋炀帝时，炀帝是把御史台等监察机构当作自己专制独裁的工具。大业年间，裴蕴被授为御史大夫，与裴矩、虞世基等共同参掌机密。裴蕴善察人主旨意，对于炀帝想加罪的就曲阿法律，故意判重刑；对于皇帝想要原谅的，就根据轻的法典加以开释。因此大小识案，炀帝都要交付裴蕴。刑部、大理寺也不敢与他相争，一定要先禀告他，并接受他或轻或重的意见，然后才判决。
隋炀帝派御史大夫裴蕴处置杨玄感起兵反隋时的反叛者。炀帝对裴蕴说：“玄感一声号召，附从的就有十万人，可知天下的人不要多，多就相聚为盗，不把他们全部诛杀，就无法惩戒后来的人！”裴蕴奉此圣旨，于是用严刑峻法惩治参与杨玄感起事的人，与玄感有关系的官员、朋友、亲戚都受到株连，杨玄感一门灭九族，总共被杀的有3万多人，死者都籍没其家，半数以上是冤枉死的，被流放迁徙的有6000多人。甚至还将受杨玄感开仓赈粮米的老百姓也当作杨玄感的“党羽”全部坑杀于都城之南。隋炀帝原颁布的《大业律》中已废除的一些酷刑如枭首、车裂、凌迟等也都恢复了。隋炀帝称赞裴蕴严厉处置有功，赐其奴婢15口。
司隶大夫薛道衡才名冠绝南北，他在文帝时久典枢要，很受重用。炀帝即位后，他写了一篇《高祖文皇帝颂》，称颂隋文帝的功德，炀帝看后很不高兴。后来他仅仅说了一句“如果高颎没有死，法令早就定下来推行很久了”这样怀念高颎的话，就被炀帝逮捕入狱。裴蕴知道炀帝不喜欢薛道衡，就乘机诬陷说：“薛道衡自负才华，依恃旧恩，不把国君放在眼里，将过错推给天子，随便制造祸端，论其罪名，似乎看不明显，原其本意，实在是悖逆天道。”炀帝说：“正是如此！我年少的时候和他一起作战，他每每轻视我年纪小，和高颎、贺若弼等人在外面专擅威权。我当了皇帝，他内心不安。幸好天下太平无事，他才没有机会造反。你论述他的叛逆，真是精妙地体察出他原本的心意。”于是薛道衡惨遭缢杀 [1] 。
隋末农民起义爆发后，门下省纳言苏威为隋王朝的命运忧心忡忡，而隋炀帝却还在热衷于征讨高丽，他向苏威询问有关计策。苏威反对炀帝再征高丽，并告诉炀帝说，国内盗贼已达数十万。苏威离开后，裴蕴马上劾奏苏威：“这是大不恭敬，天下哪有这么多的盗贼！”于是炀帝深恨苏威，骂他“老革多奸，将贼胁我”。裴蕴知道炀帝的意思，就让张行本劾奏苏威的“罪恶”，于是，苏威父子及孙三世都一起被罢职除名。
对于不合意的监察官吏，隋炀帝则进行排斥打击。治书侍御史韦云起对裴蕴等佞臣的行为实在看不下去，他弹劾道：“裴蕴、虞世基掌管枢机要务，维持朝廷内外的局面，四方报告变乱的奏章，不加以奏报上闻，盗贼数多而向陛下汇报数少，发兵不多，敌众我寡，往往使官军失利。所以盗贼势力越来越大，应治他们二人的罪。”佞臣、大理卿郑善果反驳道：“韦云起诋毁名臣，所言不实，诽谤朝政，妄作威权。”炀帝马上将忠于职守的监察官吏韦云起贬官。
隋代，虽然有一套谏官言谏系统，但却无法始终如一地运行，隋炀帝时谏官言谏系统一翼的缺失构成了隋代监察制度的最后被破坏。
隋炀帝是中国历代帝王中最不会接受谏诤、采纳忠言的一个。他曾经对秘书郎虞世南说：“我生性就不喜欢别人谏诤，如果地位声望已经很高却还要以谏诤而求取声名，更是我所不能容忍的。至于那些卑贱之士，虽然稍微可以宽容原谅，但是也绝不能免除其刑罚，你要知道呀！”可见他痛恨那些极言敢谏之士，必欲除之而后快，不喜欢人们对他的专断独行进行限制和约束。
隋大业二年（公元606年），御史大夫梁毗奏劾左卫大将军宇文述私役部兵，炀帝宠信宇文述，不治他的罪，梁毗固诤，炀帝以忤旨之罪撤了梁毗的职，令张衡为御史大夫。大业三年（公元607年），一代名臣高颎因进谏言，与贺若弼、宇文弼同以诽谤罪被杀，朝廷中正直不阿、敢于直言极谏的大臣大为减少。
御史大夫张衡本来是隋炀帝的倖臣，炀帝弑父屠兄，篡夺帝位，张衡是主谋者之一。故炀帝即位，张衡备受青睐，官职扶摇直上。炀帝北巡至太原时，还特意开直道九十里，直通张衡家，在张衡家喝了三天酒，临行又赏赐给土地、良马、金带等，在朝廷大臣中他所受的恩宠可以说是极为突出的。后来，炀帝要扩建汾阳宫，让张衡准备样图上奏，张衡偷偷劝谏炀帝说：“这几年劳役繁多，百姓疲弊，还应稍加节制。”张衡这个人尽管为虎作伥，但也总算进了几句直言，可就是这几句直言，炀帝也不能容忍，马上将他外放为榆林太守，后又让他监督劳役于江都宫，继而又找个借口将他关押、除名为民，放归田里，并派人监视他，最后赐他自尽。
隋代劝谏隋炀帝节省民力、停止巡游的大臣有太史令庾质、右尚方署监事耿询、内史侍郎萧瑀、侯卫将军杨子崇、右侯卫大将军赵才、建节尉任忠、奉信郎崔民象、王爱仁等，不胜枚举。可是，他们无一逃脱被杀被贬的结局。
昏君拒谏饰非，是非不辩，生杀任性，监察官顺之者擢拔重用，充当御用工具；逆之者被贬官杀头。这是由于皇帝对监察权有绝对的决定权所导致的。就在这样的情况下，主昏于上，臣谀于下，昏君奸臣沆瀣一气，狼狈为奸，隋王朝终于很快走向灭亡。
[1] 《隋书》卷67 《裴蕴传》。