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2.8 CMOS工艺PDK

工艺设计工具包(Process Design Kit,PDK)是由Cadence基于其模拟设计平台提出的连接IC工艺制造与设计的数据平台,可将IC工艺数据、器件模型和EDA工具有机地结合在一起,是集成电路设计必备的数据包,也是沟通IC设计公司、Foundry与EDA厂商的桥梁。PDK主要包括所选工艺的技术文件(Technology File)、参数化单元(Pcell)、Spice模型、DRC/LVS和RCX/PEX等规则文件和说明文档等。

技术文件(Technology File)是用于版图设计和验证的工艺技术文件,内容包括版图的层定义、层属性、层颜色与填充格式、设计规则和电气规则等,是PDK中最重要的文件。

参数化单元(Pcell)用于器件的生成与调用,主要包括MOS管、电阻、电容、电感、二极管、晶体管等器件,以及接触孔、过孔和线条等。在进行原理图和版图设计时,Pcell可通过图形界面直接调用,EDA工具会按照参数设置自动生成满足设计规则的器件符号图或版图,用于原理图输入或版图设计,使用起来非常方便。

Spice模型文件用于电路仿真,版图验证规则文件用于版图的设计与验证,包括DRC、LVS、RCX(或PEX)等的设计步骤,验证工具不同,规则文件的格式也有所不同。

在开始一个新的集成电路设计项目时,首先要确定流片工艺和选择Foundry,并获取相应的PDK,再结合本章讲述的器件版图结构原理,对PDK中的器件进行分析和比较,初步确定器件选型方案,然后按照CMOS模拟集成电路设计流程启动芯片设计流程。

设计流程的第一步是原理图输入,下面将以一个单级有源负载放大器为例进行设计。为了使初学者也能顺利上手操作,本书的设计流程介绍尽量做到详细和具体,把每一步的操作落实到实处。由于电路很简单,所以读者可以专注于设计流程。希望读者边看边练,做到独立和熟练操作,为后续的二阶运算放大器设计打下基础。

举例使用的工具是Cadence的5141版本(以下简称5141版),SMIC 0.18μm CMOS工艺的PDK。由于Cadence的617版本(以下简称617版)菜单和操作界面与5141版基本相同,使用617版也能顺利进行流程操作,在流程介绍过程中也会指出几处不同版本操作上的差异,供使用617版的读者参考。 SVgcpUet7geDSbSRoawyGYa5WZO+PuIzk1kTiVtErFk/3PzM0hS8QOKbAKIVy+fW

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