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2.7 CMOS双极晶体管

如图2.39所示,双极晶体管(bipolar transistor)从结构上可以简单地看成是两个反向对接的PN结二极管,这两个二极管共用了中间极。当两边为N型、中间为P型时,可构成NPN型晶体管,反之为PNP型晶体管。引出中间的半导体作为晶体管的基极(B),引出两边半导体分别作为集电极(C)和发射极(E)。

图2.39 双极晶体管结构示意图

N阱CMOS工艺实现PNP型晶体管不需要额外的制版和工艺步骤,与标准数字CMOS工艺完全兼容。N阱CMOS工艺的PNP型晶体管从结构上可分为纵向PNP型晶体管和横向PNP型晶体管两种,图2.40所示为它们的版图和剖面图,为了便于理解和说明,图中没有画出接触孔和金属,而只用箭头指向电极作为示意。

图2.40 N阱CMOS工艺的PNP型晶体管版图和剖面图

图2.40中的纵向PNP型晶体管从下到上分别由P型衬底、N阱和P+扩散区构成,显然N阱应该为晶体管的基极B,由于P型衬底必须接地,而PNP型晶体管集电极C的电位最低,所以P型衬底为晶体管的集电极,那么P+扩散区就只能是发射极E。由于P型衬底必须接地,所以纵向PNP型晶体管只能用于集电极接地的电路,例如用于构成射极跟随器等。由于电流从E到C是从上到下垂直流动的,所以被形象地称为纵向PNP型晶体管。

与纵向PNP型晶体管不同,横向PNP型晶体管是由N阱和阱内两个独立的P+扩散区构成的,N阱为晶体管的基极B,两个P+扩散区分别为晶体管的集电极C和发射极E。横向晶体管的引脚电位没有限制,使用起来比纵向结构的晶体管灵活很多。在实际的横向PNP型晶体管版图设计中,通常用集电极C包围发射极E以提高电流放大系数。由于电流从E到C是在两个P+扩散区之间横向流动的,所以被形象地称为横向PNP型晶体管。

如图2.41所示为纵向PNP型晶体管版图,左侧为完整版图,右侧为略去了一些层而只保留了扩散区和N阱的版图。从图中可以看出,最外环P+扩散区用于衬底连接,是晶体管的集电极,中间环N+扩散区用于N阱连接,是晶体管的基极,中心的P+扩散区是发射极。为了给基极留出布线通道,完整版图中两个扩散区环上的金属M1没有封闭。

图2.41 纵向PNP型晶体管版图

从结构剖面图可以看出,纵向PNP型晶体管的基区宽度是N阱深度减去P+扩散区的深度,通常这两个深度的差值很小,因此纵向PNP型晶体管的电流放大系数 β 较大。而横向晶体管的基区宽度是两个P+扩散区的间距,版图设计规则限制了它的最小值,所以低端工艺中的横向PNP型晶体管电流放大系数 β 相对较小,在电路设计中应尽量使用纵向PNP型晶体管,以充分发挥它的工艺兼容性好和电流放大系数大的优势。

虽然在CMOS模拟集成电路设计中主要使用MOS管,但是纵向PNP型晶体管也具有非常重要的作用,因为它是构成带隙参考源的核心器件,第3.10节将介绍带隙参考源电路原理和仿真方法。

NPN型晶体管的基极是P型,而N阱CMOS工艺又用P型作为衬底,所以在N阱CMOS工艺中制作NPN型晶体管的核心问题是将P型的基极与P型衬底隔开。隔开P型的基极可以采用两种工艺,一种是浅P阱工艺,另一种是深N阱工艺。

如图2.42所示为CMOS工艺NPN型晶体管版图结构示意图,左图为浅P阱NPN型晶体管的结构剖面图,右图为深N阱NPN型晶体管的结构剖面图。其中左图中的浅P阱制作在N阱上,实现了浅P阱与P型衬底的隔离,为浅P阱成为基极创造了条件。而右图中的深N阱和普通N阱环将一部分P型衬底隔离出来,被隔离出来的P型衬底也可以作为基极,由于N阱和深N阱必须接高电位,所以必须为NPN型晶体管的集电极,两个剖面图中的N+扩散区都为发射极。

图2.42 CMOS工艺NPN型晶体管版图结构示意图

图2.43为深N阱NPN型晶体管版图,最左侧的为NPN型晶体管的完整版图,右边为分解图。与完整版图相邻的是深N阱和N阱环的版图,在其右侧的扩散区版图中,外圈的N+扩散区用于连接N阱环,内圈的P+扩散区用于连接P型隔离衬底,内部的N+扩散区用于制作晶体管的另一个N型电极,最右边的金属M1版图标出了晶体管的电极。

图2.43 深N阱NPN型晶体管版图

在一般的CMOS模拟集成电路设计中,选用与标准数字CMOS工艺兼容的器件可以降低成本。从前面的讨论可以看出,无论是纵向结构还是横向结构,PNP型晶体管都与标准CMOS工艺兼容,而NPN型晶体管却需要额外浅P阱或深N阱的工艺步骤,与标准CMOS工艺的兼容性差,增加了芯片成本,在电路设计中尽量不用。 8fB4Vkxufyj+KrRiSTFfRWXeEdis6B2ESB5pBytgaXHsjJSgeCtTsbzyEbzCIq+4

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