[1]E.Brinksmeier, Y.Mutlugünes, F.Klocke, et al. Ultra-precision grinding[J], CIRP Annals, 2010, 59(2): 652-671.
[2]肖强,王嘉琪,靳龙平.磁流变抛光关键技术及工艺研究进展[J].材料导报,2022,36(07):59-68.
[3]王紫光,周平,高尚,等.单晶硅反射镜的超精密磨削工艺[J].光学精密工程,2019,27(5):1087-1095.
[4]袁巨龙,张飞虎,戴一帆,等.超精密加工领域科学技术发展研究[J].2010,46(15):161-177.