拓展知识

[1]E.Brinksmeier, Y.Mutlugünes, F.Klocke, et al. Ultra-precision grinding[J], CIRP Annals, 2010, 59（2）: 652-671.

[2]肖强，王嘉琪，靳龙平.磁流变抛光关键技术及工艺研究进展[J].材料导报，2022，36（07）:59-68.

[3]王紫光，周平，高尚，等.单晶硅反射镜的超精密磨削工艺[J].光学精密工程，2019，27（5）:1087-1095.

[4]袁巨龙，张飞虎，戴一帆，等.超精密加工领域科学技术发展研究[J].2010，46（15）:161-177. yRstNFh7RlL7IctkwX5Ef7baWCPVZ9qiUX5nUdckzGRvQTHHRg5xG0K8a9f0wkOS