由于光纤工作频带宽、传输损耗小，再凭借微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）制造工艺可实现微小型化、批量化和高一致性生产的优势，MEMS光学声传感器表现出高灵敏度、宽频带、大动态范围和高信噪比的优异声探测性能，受到了科研人员的普遍关注和深入研究。本章将通过光学声传感器的研究现状及光学声传感器中的MEMS工艺介绍，总结得到光学声传感器的发展趋势。 qVqNXYvTGaqbhrm6NzzpWeb6q4NQ7mYp+tMwftSjko4QqmT5lkYGaFgZ1OGh/R0A
