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郑永秋
博士，中北大学副教授，硕士生导师。山西省“三晋英才”青年优秀人才，山西省优秀青年基金获得者，山西省光学学会理事，中北大学“太行学者”、青年学术带头人，《红外与激光工程》青年编委，国家自然科学基金函评专家，中国航天科工集团第六研究院特聘高级专家。主要从事航天动力燃烧场测试技术研究，主持有国家自然科学基金重点项目、国家重点研发计划课题、173计划重点基金、军委装备发展部领域基金、山西省国防科工局基础科研（重点）课题等国家和省部级项目。获山西省技术发明二等奖1项（排名第1）。
陈佳敏
博士，中北大学讲师，主要从事MEMS光学声传感测试技术研究，主持山西省基础研究计划青年基金项目。
武丽云
博士，太原工业学院讲师，主要研究领域为光学声传感器的制备，以及智能机器人感知系统等。
MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
本书在注重机理分析的同时，将理论与实践相结合，具有较强的系统性、理论性和实用性，对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值，也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书。