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698 年以后，已经是皇太子的李显似乎只要等待就可以顺利接班了，但张易之、张昌宗兄弟团伙愈发猖狂的行事击碎了这层假象。在很长的一段时间内，所有的政令都是通过二张兄弟传达。然而武则天逐渐年迈昏庸，如果二张假传旨意，后果不堪设想。中宗的嫡长子李重润和武家的嫡长子武延基都已死在张氏兄弟手上，太平公主的亲信高戬也被其流放，李显、李旦、太平公主、武三思等感受到了巨大的危机。从 704 年起就陆续有大臣进谏，希望武则天的身边能有李显、李旦或太平公主而不能只有二张兄弟，但都被拒绝。
张氏兄弟也确实隐隐透露出为自己造势的迹象。当时张昌宗召术士李弘泰占相，李弘泰说张昌宗有天子相，劝其在定州造佛寺，则天下归心。李弘泰还称他为张昌宗占卜，结果显示为纯《乾》，乃天子之卦。神龙政变的核心人物之一王同皎的墓志（《大唐故驸马都尉光禄卿赠左卫大将军王公墓志铭》）也给我们提供了大量信息。王同皎是李显的女婿，娶了李显第三女新宁郡主
。《王同皎墓志》把当时的局势说得更加清楚：
时则天皇帝春秋高，加有风疾。张易之及弟昌宗共利颠颐，俱承先比，居中专制，朝右慑伏。奇家者或谓昌宗而有天子相，奸臣贼子潜而附离。
在这种情况下，大家都很紧张。当时不断有人在大街小巷贴大字报，说易之兄弟谋反，武则天都不过问。御史中丞宋璟死咬张氏兄弟谋反，但是武则天和当时的中书令杨再思力保张氏兄弟
。武则天让宋璟出京办事，宋璟拒绝前往，奏曰：“故事，州县官有罪，品高则侍御史、卑则监察御史按之，中丞非军国大事，不当出使。今陇、蜀无变，不识陛下遣臣出外何也？臣皆不敢奉制。”
我们也可以看出，当时君臣关系已经比较古怪。武则天派遣御史中丞宋璟到外地去，宋璟公然拒绝。像御史中丞、南衙宰相基本上都不在武则天能控制的范围内，她的权威只局限于皇宫之内，出不了皇宫了。相王集团、太平公主、武氏诸王都蠢蠢欲动。
政变前，王同皎利用“属火见春季，天下寒食，太原旧俗，人重相延”
，邀请御史中丞桓彦范到家里商量大计，谈到张氏兄弟，王同皎忧心地说：“其如王室何？”两人相对潸然，遂定下匡复之计，决定用非和平手段解决二张。第一套方案是刺杀：
寻以谯王重福娶易之甥为妃，公忖其亲迎之霄，来观宋子，乃阴结刺客，已得要离。会易之不出，其事遂寝。公既喑呜而去，客亦趑趄久之。义士闻者，莫不感叹。
李显跟张易之结亲，让自己的儿子李重福迎娶张易之的外甥女，希望能够弥合双方的裂痕。而王同皎则计划在迎亲时发动刺杀，一举击杀张易之。但张易之凑巧没到场，刺杀方案失败。
第二套方案就是政变了。王同皎又与中书侍郎张柬之、羽林将军桓彦范、敬晖等谋划：
凝阴初履，诫慎犹勤，疑阳已嫌，玄黄非远。今岁洎乙巳，月栖丙寅，三门具，五将发，神计利往，吉道清虚，此汉执韩信、隋拘杨谅之算也。应断不举，便有害成。
权衡天象等因素，他们最终决定在长安五年（705）正月癸卯（二十三日）这一天晚上发动政变。
当晚，宰相张柬之、崔玄暐，与中台右丞敬晖、司刑少卿桓彦范、右羽林卫大将军李多祚、左羽林将军李湛、右羽林将军杨元琰、左威卫将军薛思行等率左右羽林兵五百余人到达玄武门。此时，殿中监田归道正好统帅千骑驻守玄武门，敬晖派人征调他手下的千骑，而田归道因并不知情拒绝交出指挥权。幸好其他北门禁军大多愿意支持政变。张柬之等人派遣李多祚、李湛和王同皎到东宫接出李显。李显有些怀疑，不愿意出来。王同皎劝说道：“二十三年前，殿下就应该继承大统，却横遭废黜，还被幽禁多年，真是人神共愤。现在幸得上天指引，北门的羽林军们与南衙的大臣们将同心协力诛灭小人，恢复李氏社稷，希望殿下前往玄武门，不要辜负大家的期望！”李显这才愿意出面，王同皎将他抱上马，两人一起来到玄武门。
随后桓彦范等人打着太子的旗号斩断门栓闯入宫中，一时间兵士大噪。此时武则天正在迎仙宫内休憩，张柬之等人直接在迎仙宫的走廊里将张氏兄弟斩首，并命侍卫将武则天居住的长生殿团团围住。武则天惊起，问道：“是谁在作乱？”张柬之回答说：“张氏兄弟企图造反，臣等已奉太子之命将其铲除，因为担心走漏风声，所以没敢让您知道。在皇宫禁地大兴兵马，臣等罪该万死！”武则天看见李显果然也在人群之中，便对他说：“是你吗？既然人已经被杀了，你就回东宫去吧。”桓彦范上前说：“太子怎么能回到东宫去呢？高宗把心爱的太子托付给您，现在太子年纪这么大了，还一直在东宫当太子，上天和百姓都很想念李氏。臣等不敢忘太宗、高宗的恩德，所以奉太子之命诛杀贼臣。希望陛下能顺应上天和百姓的愿望传位给太子！”一同参与政变的李湛是李义府的儿子，武则天看到他十分惊讶，说：“你也是杀了张易之的人之一吗？我平时对你们父子不薄，没想到会有今天！”李湛十分羞愧，一句话也说不出来。武则天又质问崔玄暐：“别人我不管，你是我亲自提拔起来的，你怎么也能参加政变呢？”崔玄暐回答：“我这样做正是为了报答陛下对我的大恩大德。”
以上事件均发生在北门。在南衙，相王李旦带着自己的王府司马袁恕己，统率南衙卫兵，把依附张氏兄弟的大臣如韦承庆、房融及司礼卿崔神庆全部抓进了监狱。政变中似乎没看到武氏家族的身影，也没有看到太平公主的表现，但在这场政变之后，不论是武三思，还是太平公主，都受到了褒奖。政变后第三天，武则天传位于太子。第四天，中宗即位，相王加号安国相王，拜太尉、同凤阁鸾台三品，太平公主加号镇国太平公主。
整体上来说，705 年的癸卯政变是一场安静的政变。在一个非常安静的夜里，武则天结束了自己的统治，把政权还给了自己的儿子李显，开启了后武则天时代。