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一、监察体制
秦始皇统一天下以后，监察体制有了显著的发展。一者中央监察机关专职化，再者地方建立了稳定的监察体系。
具体说来，御史府的长官是御史大夫，位列副丞相，以赞佐丞相为主要职掌。实际执行监察职能的是御史大夫下设的御史中丞。御史中丞有权察举包括丞相在内的百官的行为，纠举和弹劾其违法犯罪的事实，以使各级官吏对于所司之职“细大尽力，莫敢怠荒”。同时，严禁僭越、破坏等级秩序的行为，保证“尊卑贵贱，不逾次行”，消除对皇权构成的威胁。
御史府内设有侍御史和符玺御史，分别行使特殊的职权。据《通典·职官六》：“侍御史于周为柱下史，老聃尝为之。秦时，张苍为御史，主柱下方书，亦其任也。又云苍为柱下御史，明习天下图书计史籍。一名柱后史，谓以铁为柱，言其审固不桡也，亦为侍御史。”《史记·张丞相列传》也说：张苍“秦时为御史，主柱下方书”。对此，《集解》引如淳语：“方，版也，谓书事在版上者也。秦以上置柱下史，苍为御史，主其事。”另据《索隐》，“周秦皆有柱下史，谓御史也。所掌及侍立恒在殿柱之下，故老子为周柱下史。今苍在秦代亦居斯职。方书者，如淳以为方板，谓小事书之于方也，或曰主四方文书也”。可见，侍御史负责掌管朝廷的奏章、文书、档案、宫禁图书以及地方每年呈送的上计簿、四方文书、地理图册，等等。云梦秦墓竹简《尉杂》中“岁雠辟律于御史”，说明侍御史还掌管律令，监督法律的实施。
此外，《晋书·职官志》有云：“符节御史，秦符玺令之职也”，符玺御史的职责应为掌管皇帝的玉玺和兵符。
在秦朝御史系统中，还包括设置在郡一级政权中的监郡御史，称为“监”或“监御史”。据《史记·秦始皇本纪》，秦统一后，“分天下以为三十六郡，郡置守、尉、监”。“监”即监郡御史。据《汉书·百官公卿表》：“监御史，秦官，掌监郡。”另据《史记·高祖本纪》中《集解》引文颖云：“秦时御史监郡，若今刺史”；《索隐》引如淳云：“秦并天下为三十六郡，置守、尉、监。”这些都表明监郡御史应为设置在郡的常设监察官，隶属于御史府，主要职责就是代表皇帝监察地方官吏，其职权行使受御史中丞统领。
御史除专门性的监察职权外，还兼有讨捕奸猾、治理大狱等司法权。据《史记·秦始皇本纪》，秦始皇三十五年，侯生和卢生逃亡，始皇“于是使御史悉案问诸生，诸生传相告引，乃自除犯禁者四百六十余人，皆坑之咸阳，使天下知之，以惩后”。秦始皇三十六年，“黔首或刻其石曰‘始皇帝死而地分’。始皇闻之，遣御史逐问，莫服，尽取石旁居人诛之，因燔销其石。”另据《史记·李斯列传》，李斯被赵高诬陷下狱以后，“赵高使其客十馀辈诈为御史、谒者、侍中，更往覆讯斯”，说明御史具有审判大案、要案的司法权。
御史系统诸官的监察方式主要有三种：一是处理公卿百官的奏章，从而实现对公卿百官的言论、行为的监察。二是御史大夫派遣监御史对郡县两级进行就地监察。三是审查上计簿，对上计簿中所列项目如户口、垦田、粮谷出入、赋税收入、徭役征派、灾变治理、刑狱审断等进行审查，从而确定官吏政绩的优劣，提出赏罚的意见，上报皇帝。除每年一次的“常课”外，还有三年一次的“大课”，《秦律杂抄》所载“采山重殿，赀啬夫一甲，佐一盾；三岁比殿，赀啬夫二甲而废”，就是大课之后所定的赏罚。
综上可见，秦朝的御史系统较之于战国时期扩大，职权有所提高，活动范围也较为广泛。除御史监察体系外，丞相和郡守等行政官员也兼有一定的监察权。丞相作为“掌丞天子，助理万机”的“百官之长”，还行使着“饬政教”即整顿政治和教化以及封驳和谏诤等方面的监察权力，以求上可以匡正君失，下可以纠正官邪。地方郡守也具有一定的监察权力。由行政官行使一定的监察权，表明秦朝的监察体制中行政权与监察权尚无严格的划分。
秦统一后，也设置了执掌谏诤的官员。据《通典·职官三》：“秦置谏议大夫，掌议论，无常员，多至数十人，属郎中令。”谏官行使职权的方式主要是参加朝议和奏事，或就皇帝言行进行规谏。但在皇帝专制的体制下，权力监督只能是指向臣下，而不可能上及于皇帝，因此，在秦统一后作为监察权组成部分的言谏，不仅得不到重视，反而受到抵制。李斯就将“内不可夺以谏说忿争之辩”
，看作是“明君独断”的重要内容。而在秦朝的政治实践中，更视“群臣谏者以为诽谤”加以打击
，例如，秦始皇三十五年，长子扶苏因谏坑儒一事，始皇怒，使之北监蒙恬军于上郡。始皇死后赵高等人伪造诏书诬称扶苏“数上书直言诽谤我（始皇）所为”，故赐死。又如，秦二世二年，李斯与右丞相冯去疾、将军冯劫等进谏二世，请求减轻赋役、停建阿房宫，二世不听，将三人下狱问罪。后冯去疾、冯劫自杀，李斯被处死
。以至于“天下畏罪持禄，莫敢尽忠”，“大吏持禄取容”而已。《史记·秦始皇本纪》。司马迁在《史记》中总结说：秦始皇“不信功臣，不亲士民，废王道，立私权，禁文书而酷刑法，先诈力而后仁义”；“繁刑严诛，吏治刻深”，
造成了“自君卿以下至于众庶，人怀自危之心”。最终使得“行自奋之智”
的秦始皇，众叛亲离，陷于“孤立之败”。
二、监察法
秦朝曾经是以法治相尚的国家，其兴也，兴于以法为治，其亡也，亡于以意毁法。在统一天下的初期，还保留了某些法治的遗痕，以致监察权的行使与监察活动多以法为据。
作为法家理论躬行者的秦始皇，十分推崇法家所提出的“以法治国”的主张。在他执政期间，力求做到“治道运行，诸产得宜，皆有法式”
。在许多刻石中，更将明法、修法视为功德加以宣扬。如始皇二十八年琅邪刻石：“皇帝作始，端平法度，万物之纪”；“除疑定法，咸知所辟；方伯分职，诸治轻易”。二十九年之罘刻石：“大圣作治，建定法度，显著纲纪……普施明法，经纬天下，永为仪则。”三十七年会稽刻石，“秦圣临国，始定刑名，显陈旧章；初平法式，审别职任，以立恒常”。
丞相李斯对此赞美说：“法修术明而天下乱者，未之闻也。”正因为秦始皇“独操主术以制听从之臣，而修其明法”，才成就了“身尊而势重”的皇权统治局面。
鉴于战国时期各国法制不一，秦统一后废除了六国原有的法律，以秦律作为国家唯一的法律，使“法令由一统”。为了确保秦律的统一适用，严格规定只有官吏有权解释法律，庶民如欲学习法律，必须“以吏为师”。在奉法为治的政策指导下，要求“境内之民，其言谈者必轨于法”，秦始皇也因此被认为师申、商之法，行韩非之说，“刚毅戾深，事皆决于法”的千古一帝。
为了实行“以法治国”，“以吏为师”的治国方略，必须有良好的吏治。秦始皇奉行“明主治吏不治民”的法家思想，注意运用法律监察百官，维护监察机制的运行。他颁布的《吏见知不举令》规定，官吏见知“有敢偶语诗书”或“以古非今”而“不举者，与同罪”，从而为监察官吏的活动提供了法律依据。
此外，在《语书》中反映了“良吏”与“恶吏”的区别。“凡良吏明法律令，事无不能（也）；有（又）廉洁敦悫而好佐上；以一曹事不足独治也，故有公心：有（又）能自端（也），而恶与人辨治，是以不争书。”可见，秦朝的良吏必须是通晓法律令，能办理分内的一切事务；廉洁忠诚，为君主赤诚效力；秉持公正，不独断独行；能够纠正自己的失误，与他人共事而不争功。至于恶吏，则与此相反，“不明法律令，不智（知）事，不廉絜（洁），毋（无）以佐上，緰（偷）随（惰）疾事，易口舌，不羞辱，轻恶言而易病人，毋（无）公端之心，而有冒柢（抵）之治，是以善斥（诉）事，喜争书。争书，因恙（无佯）瞋目扼捾（腕）以视（示）力，讦询疾言以上视（示）治，誈言麃斫以视（示）险，阬阆强肮（伉）以视（示）强，而上犹智之殹（也）。故如此者不可不为罚”。按《语书》所载，是否“明法律令”不仅是区分良吏与恶吏的标准，也是监察官察吏的重要依据。
总括前述，秦朝作为中国第一个统一的中央集权国家，其中枢制度的建设、地方机构的划定，都具有重大的创新意义，并且对后世影响深远。作为监察机构，也受到中央集权制度的影响，建立了行使监察权的御史府，无论监察思想、监察体制、监察运行、监察法制都较之春秋战国有了重大的发展。然而，威赫不可一世的秦朝竟然二世而亡，设计完备的各种制度完全失效，谏议制度流于形式，监察机制也无法发挥作用，一切法令规章全成具文，曾经为秦始皇统一大业殚精竭虑的李斯竟然被“俱五刑”处决，甚至公子公主也难逃一死。何以至此？究竟哪个环节出了问题？这就难怪汉初思想家长篇累牍的讨论秦亡之失，同时也为汉朝提供历史的镜鉴。由此，展开了汉朝监察法制建设的新的一页。