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3.2 碳化硅PiN二极管

由于碳化硅可以承受更大的电场强度,所以相同击穿电压下,碳化硅漂移区的宽度远小于相应硅器件的宽度。这意味着碳化硅PiN整流器中的存储电荷将比硅器件小得多,所以可以改善开关特性。然而,由于碳化硅带隙宽度较大,因此开关特性改善的同时,伴随着通态压降的显著增加。

碳化硅PiN整流器的物理性质与前文的描述相同。然而,碳化硅器件的参数不同于硅器件的参数。这对结压降具有强烈的影响。如前文所述,结压降由下式给出:

虽然注入的载流子浓度 n (+ d )和 n -d )可以假定为与硅PiN整流器中的载流子浓度相似,但由于碳化硅具有较大的带隙,所以在300℃时,如果硅的本征载流子浓度为1.4×10 10 cm -3 ,而4H-SiC的本征载流子浓度仅为6.7×10 -11 cm -3 。如果假定漂移区中的自由载流子浓度为1×10 17 cm -3 ,与硅二极管的结压降为0.82V相比,4H-SiC二极管的结压降为3.24V。因此,4H-SiC PiN整流器中的功耗是硅器件中的4倍。较大的通态功耗抵消了开关特性的改善。因此,最好研发耐压等级低于5kV的碳化硅肖特基二极管和耐压等级超过10kV的碳化硅PiN二极管的。

模拟示例

以耐压10kV的4H-SiC PiN整流器为例来说明碳化硅PiN整流器内部存储电荷的减小。该器件漂移区的厚度为80μm,而硅器件需要1200μm。同时,漂移区的掺杂浓度相对较高,为2×10 15 cm -3 。如图3.13所示,由于漂移区厚度较小,即使对于100ns非常小的寿命( τ p0 τ n0 )值,也可以观察到漂移区具有良好的电导调制效应。然而,当典型的寿命( τ p0 τ n0 )值为10ns时,4H-SiC漂移区的电导调制效应差。为了确保二极管具有良好的特性需要具备提高4H-SiC少子寿命的方法。图3.13是正向偏压为4V时的载流子分布情况,如前面所讨论的一样,4H-SiC的结压降较高。因此,开关特性的改善必然以较大的通态功耗为代价。图3.14为10kV 4H-SiC PiN整流器的正向导通特性。

图3.13 10kV 4H-SiC PiN整流器的电导调制效应

图3.14 10kV 4H-SiC PiN整流器的正向导通特性 /QJatCzBJNpuR2NLOMnjU5MsANJSEKFm2hidWuBIJJnnYQdZCGtQ81iSNW0G/Uig

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