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3.1 PiN二极管的结构与静态特性

3.1.1 PiN二极管的结构

根据PN结理论,PN结的一侧必须是轻掺杂才能获得高阻断电压。对于高压半导体器件来说(高于1kV),通常N型区为低掺杂,原因如下:

1)中子嬗变技术能形成非常低、非常均匀的N型掺杂;

2)对于给定的电压等级,P + N结构的芯片厚度比N + P结构的更薄,这非常重要,因为功率半导体器件损耗的增长大约以厚度的二次方上升。

设计高反向耐压PN结二极管的一个重要问题是,掺杂水平在10 19 cm -3 以下的N型区将与金属产生很大的接触电阻,这对于工作在大电流密度下的功率半导体器件来说是不能被接受的。因此,N型区为低掺杂的二极管在高电压的应用场合是不可行的。

如果N型区高掺杂,P型区低掺杂,那么就没有接触问题了,因为即使P型区的掺杂浓度低也能与金属形成低接触电阻。可是,在相同的雪崩击穿电压下,P - N二极管比PN - 二极管厚得多,这又削弱了其低接触电阻的优势。

这个问题可以通过在PN - 结的N - 区添加N + 层得以解决,即形成了P + N - N + 结构,如图3.1所示。为了在阴极形成低接触电阻,N + 层的掺杂浓度必须足够大。

穿通(PT)和非穿通(NPT)的设计概念

图3.1 (上图)P + N - N + 二极管的结构和掺杂剖面图和(下图)施加外部反向电压的电场分布

图3.1显示了N - 型区的不同掺杂浓度水平的电场分布。当掺杂浓度足够低时,电场在器件达到雪崩击穿电压之前就扩展到N + 层。因为N + 层的高掺杂水平,电场强度在很短的距离内就下降到0,就像电场被挡住了。因此,这种具有电场阻止特性的区域称为缓冲层。

在电场达到缓冲层之后发生雪崩击穿的器件称为穿通(PT)结构;在电场达到缓冲层之前发生雪崩击穿的器件称为非穿通(NPT)结构。

PiN缩写的由来

当器件处于正向偏置状态时,P + N - N + 二极管的低中间掺杂区域通常要被驱动到大注入状态(在3.2节中详细讨论)。在这种状态下,N - 掺杂原子的电荷不再对总的电荷平衡起主要作用,这种状态就跟中间区域没有掺杂(本征)是一样的,这就是P + N - N + 二极管通常被称为PiN二极管的原因所在。 aI4v7Jx74PD5gIBcRsRyztgxrNdiCpdWI/dz+kUwoyhlFzE+JUtT7pBauxz+ltfG

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