目前硅基功率半导体器件的未来发展方向依然是高耐压、大电流、高容量、低损耗及快速高频等。图1.21为几种功率半导体器件的工作频率和功率容量,其中实线为现状,虚线为未来的发展趋势。
图1.21 功率半导体器件的工作频率与功率容量
碳化硅(SiC)材料具有临界电场强度高、热导率高和饱和漂移速度高的特点,因此可以在耐压、导通电阻和温度特性方面取得良好的折中。用SiC材料制得的各种耐高温、高频、大功率器件,可以应用于普通硅器件难以胜任的场合,扩大了功率半导体器件的应用范围。
SPIC的发展趋势是工作频率更高、功率更大、功耗更低、功能更全。