前言

制冷红外焦平面探测器具有精度高、灵敏度高等优势，在军事、航空航天、防火预警等领域有重要应用。为满足其在严苛环境中对稳定性和可靠性的要求，制冷红外焦平面探测器批量制造技术尤为关键。

本书围绕制冷红外焦平面探测器的批量制造过程，对其部分关键技术进行系统介绍。首先介绍Ⅱ-Ⅵ族的碲镉汞（HgCdTe）和Ⅲ-Ⅴ族的锑基超晶格两种主流红外敏感材料的生长技术，以及相应的碲锌镉（CdZnTe）衬底材料和锑化镓（GaSb）衬底材料的制备技术；接着介绍红外焦平面芯片和读出电路设计、两种材料体系的红外焦平面阵列制备，以及红外焦平面芯片集成技术；然后对制冷红外焦平面探测器的杜瓦封装的设计、工艺与可靠性评价进行分析，对制冷红外焦平面探测器常用的旋转斯特林制冷机、线性斯特林制冷机、节流制冷器设计及制造进行详细描述；阐述制冷红外焦平面探测器关键参数及其测试方法，针对典型制冷红外焦平面探测器检测结果进行分析讨论；最后介绍制冷红外焦平面探测器的应用场景，包括典型的军事领域，如手持、车载、机载、制导、卫星，以及民用领域，如气体检测、飞行视觉增强、智能监控、火灾告警等。

由于作者水平有限，书中难免有不足之处，恳请读者批评指正。

编者
2022年5月