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前言

制冷红外焦平面探测器具有精度高、灵敏度高等优势,在军事、航空航天、防火预警等领域有重要应用。为满足其在严苛环境中对稳定性和可靠性的要求,制冷红外焦平面探测器批量制造技术尤为关键。

本书围绕制冷红外焦平面探测器的批量制造过程,对其部分关键技术进行系统介绍。首先介绍Ⅱ-Ⅵ族的碲镉汞(HgCdTe)和Ⅲ-Ⅴ族的锑基超晶格两种主流红外敏感材料的生长技术,以及相应的碲锌镉(CdZnTe)衬底材料和锑化镓(GaSb)衬底材料的制备技术;接着介绍红外焦平面芯片和读出电路设计、两种材料体系的红外焦平面阵列制备,以及红外焦平面芯片集成技术;然后对制冷红外焦平面探测器的杜瓦封装的设计、工艺与可靠性评价进行分析,对制冷红外焦平面探测器常用的旋转斯特林制冷机、线性斯特林制冷机、节流制冷器设计及制造进行详细描述;阐述制冷红外焦平面探测器关键参数及其测试方法,针对典型制冷红外焦平面探测器检测结果进行分析讨论;最后介绍制冷红外焦平面探测器的应用场景,包括典型的军事领域,如手持、车载、机载、制导、卫星,以及民用领域,如气体检测、飞行视觉增强、智能监控、火灾告警等。

由于作者水平有限,书中难免有不足之处,恳请读者批评指正。

编者
2022年5月 eIR26hB0AMMS1ZeHGg2SIH1CAuaQ691+nplpMNB0owm1f0iQu8YY1Go4EdNDyK6V

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