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2.1.2 碲镉汞材料的基本物理特性

从结构组成来看,HgCdTe是一种闪锌矿晶体结构的赝二元合金半导体材料。在早期的文献资料中,围绕HgCdTe的力、热、光、电性能展开了大量研究 [11-13] 。本小节结合制冷红外焦平面探测器的研制工艺,重点关注HgCdTe材料的能带结构、晶体结构、热学特性及功函数。

1.能带结构

根据固体物理能带理论,HgCdTe是一种直接带隙半导体材料,即其导带底和价带顶在K空间中处于同一位置。这种能带结构决定了HgCdTe材料吸收红外辐射能量后,其光电转换过程将通过电子由价带直接跃迁到导带实现,因而材料具有很高的量子效率。HgCdTe材料的禁带宽度是组分和温度的函数。学界广泛采用的HgCdTe禁带宽度表达式为Hansen-Schmit公式 [14] ,即

E g =−0.302+1.93 x +5.35×10 −4 T (1−2 x )−0.81 x 2 +0.832 x 3

(2-1)

式中, E g 为禁带宽度(eV); x 为碲镉汞材料中的Cd组分; T 为材料的温度(K)。根据式(2-1)的描述可以看出,随着组分增加,HgCdTe的禁带宽度从负值变到正值。因此,通过改变HgCdTe材料中的Cd组分即可实现对制冷红外焦平面探测器截止波长的调制,从而满足制冷红外焦平面探测器的应用需求。

值得指出的是,式(2-1)提供了一种测量HgCdTe组分的方法。通过测量HgCdTe材料的红外吸收谱,根据光谱的吸收边可以确定HgCdTe的禁带宽度,进而反推出HgCdTe材料的组分。

2.晶体结构

HgTe和CdTe材料均为闪锌矿结构,HgCdTe由二者混合而成,同样为闪锌矿结构,即由两组面心立方晶格套构而成。其中,Te原子占据一套面心立方晶格,Cd原子和Hg原子占据另一套面心立方晶格,如图2-4所示。(110)面为HgCdTe材料的解理面,是HgCdTe材料最易断裂的面。沿着(111)面将HgCdTe材料切开,晶体将总在键密度最低的Te层及Cd(Hg)层之间断开,分为两个极性不同的面,其中,一面由Hg和Cd原子组成,称为A面;另一面由Te原子组成,称为B面。碲锌镉材料与HgCdTe材料具有相同的晶体结构,且通过锌组分调整,两者能实现晶格完全匹配,因此碲锌镉是HgCdTe外延生长不可或缺的衬底材料。与HgCdTe相同,碲锌镉衬底同样分为Te面及Cd(Zn)面两种不同极性面,材料的物理、化学性质会因原子键的不同而出现差异,从而影响HgCdTe外延在碲锌镉衬底不同极性面的生长特性。HgCdTe材料晶格的这些特征将为HgCdTe外延生长及碲锌镉衬底切割定向起到重要的指导作用。

图2-4 HgCdTe材料的晶体结构

HgCdTe作为三元化合物半导体材料,其晶格常数为组分 x 的函数。如前文所述,HgCdTe组分是影响禁带宽度的最主要因素,因此,若能精确测量HgCdTe的晶格常数,则根据晶格常数与组分的对应关系即可计算出材料的组分。通过布拉格衍射定理,结合高分辨X射线衍射仪测量技术,可精确测量HgCdTe的晶格常数。通常采用Vegard定律进行估算,即

a =6.46136+0.01999 x

(2-2)

式中, a 为晶格常数; x 为碲镉汞材料中的Cd组分。然而,需要指出的是,组分受晶格常数测试精度的影响极大,提高X射线测试精度尤为重要,与通过红外吸收谱测量计算组分相比,晶格常数推算的组分误差可能较大。在实际研制工作中,还将通过HgCdTe材料的晶格常数来计算外延层的晶格失配,从而评估衬底与外延层的共格关系。这点是外延工艺选择适用衬底的直接依据。

3.热学特性

在HgCdTe材料的热学特性中,需要重点关注的是其热膨胀系数。HgCdTe外延层、碲锌镉衬底、读出电路、器件封装载体等不同材料热膨胀系数的差异会在HgCdTe材料中形成热应力。这种应力轻则使材料内部的缺陷密度增殖,重则导致外延层开裂。因此,从制冷红外焦平面探测器性能及可靠性角度出发,HgCdTe材料的热膨胀系数对后续器件加工和封装、测试都十分重要。从报道的数据来看 [15] ,HgCdTe材料的热膨胀系数在(4.2~4.7)×10 -6 K -1 的范围内。然而,HgCdTe制冷红外焦平面探测器通常工作在77~110K,因此精确测量低温时热膨胀产生的漂移是值得关注的。

4.功函数

根据固体物理理论,功函数是指电子由费米能级逸出到真空能级所需的最小能量。半导体材料的功函数特性决定了器件的欧姆接触金属的选择,以及半导体异质结内电子的输运特性。n型材料形成欧姆接触的条件是金属功函数小于半导体功函数。对于n型HgCdTe材料而言,金属In的功函数小于其功函数,因此理论上欧姆接触层制备在n型HgCdTe材料上的器件可采用In作欧姆接触层。p型材料形成欧姆接触的条件是金属功函数大于半导体功函数,由于p型材料的费米能级靠近价带,半导体功函数大幅度增加,因此需要采用功函数更大的金属作欧姆接触层。对于p型HgCdTe材料,当组分低于0.4时,金属Au可作为欧姆接触层;当组分越来越高时,器件的欧姆接触层制作成为一大难点,需对材料结构及掺杂条件进行优化。 8W0WSLwDWtv/wUQcUmv/LjF7L3Tbb425gAgRoUUx9t4bFFKIfbHeNI0bXZB9HBBk

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