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（1）理解电阻式热蒸发镀膜的工作原理。
（2）学会操作热蒸发镀膜设备，为样品镀上铝电极。
图5－1 热蒸发镀膜设备外观
电阻式热蒸发镀膜，是在真空室中利用电阻加热法，将紧贴在电阻丝上的金属丝（铝丝）熔融汽化，汽化了的金属分子沉积于基片样品上，从而获得光滑、高反射率的膜层，该膜层可以作为基片样品的金属导电层及保护层。
电阻式热蒸发镀膜设备原理简单、结构类似，主要由镀膜室、真空系统、电路控制系统等组成，本实验使用的是沈阳新蓝天真空技术有限公司的DZ300型镀膜系统。
镀膜室是一个钟罩式的真空腔，腔内有螺旋状的加热钨丝、样品架、电阻规管、电离规管、观察窗、放气阀等部件。真空系统主要由机械泵、分子泵、真空阀、真空计等组成。电路控制系统控制机械泵、分子泵、蒸发加热器及腔体升降机等的运行。
图5－2 真空腔罩体打开（升起）状态
图5－3 腔内结构（加热钨丝、样品架、掩模板等）
图5－4 铝丝
图5－5 控制面板按钮
（1）检查电源、水源是否正常，气路的各个阀门是否都处于关闭状态。
（2）打开放气阀，将真空室破真空，腔内气压与大气相同后按“法兰上升”按钮，将腔罩上升到合适高度，更换观察窗口玻璃片。
（3）安装铝丝：按“蒸发源1挡板”按钮打开钨丝上方挡板，取2～3根用酒精浸泡的铝丝，晾干，用镊子将铝丝缠绕到钨丝上，使铝丝与钨丝紧贴，按“蒸发源1挡板”按钮关上钨丝上方挡板（如果之前钨丝烧断，还需先更换钨丝）。
（4）安装样品：根据需要选择合适的掩模板，放置在样品架上，将样品基片需要镀膜的面朝下放置在掩模板上，尽量使样品处于钨丝及铝丝的正上方。
（5）检查无误后，按“法兰下降”按钮，将腔罩盖上。注意下降时对准密封圈，罩体将要落到密封圈上时提前放开“法兰下降”按钮，以免卡住传动机构。检查确认密封圈已贴合，且没有夹杂异物。
（6）抽本底真空。打开冷却水，按“机械泵”按钮开启机械泵，打开机械泵角阀。按“挡板阀”按钮开启分子泵电磁阀，等待2～3min，机械泵的声音变小、稳定后，打开真空计电源；当气压达到5Pa以下时，按下分子泵电源的“启动”按钮；分子泵转速达到100～400rps以后，关闭机械泵角阀，再开启分子泵插板阀；分子泵转速持续上升至最大速度400rps后，继续抽真空，真空度达到2.0×10 －3 Pa以上后方可开始蒸镀。
（7）加热钨丝熔融铝丝，开始热蒸发镀膜。此步骤为镀膜的核心步骤，必须小心谨慎。按“蒸发加热”“蒸发源1”按钮，逐渐调大“功率调节”旋钮，缓慢加大功率，从观察窗口观察钨丝，直到钨丝开始发红光，继续缓慢加大功率，并观察铝丝，直到铝丝软化熔融，继续加大功率，使铝丝完全熔化并吸附到钨丝上，此时立刻打开“蒸发源1挡板”，再略微加大功率，观察窗口的玻璃逐渐被沉积的铝膜覆盖而不透明，观察窗口的玻璃完全不透明后继续加热30～60s，然后逐渐调小功率至0，关闭“蒸发源1挡板”。
图5－6 真空系统气路结构图
（8）继续抽真空2～3min后，关闭插板阀，关闭分子泵。等分子泵转速降为0，关闭电磁阀，确认角阀关闭，打开放气阀破真空。取出样品后，盖好罩体，打开角阀对腔体进行抽真空维护。气压到10Pa以下后，关闭角阀，关闭机械泵，关闭冷却水，关闭控制机柜总电源。
注意事项如下：
①分子泵开启前必须确认冷却水已开启。
②蒸发加热时，电流必须缓慢增加，适时停顿等待，观察钨丝状态的变化，电流加大过快容易使铝丝烧断、掉落，还可能烧断钨丝。
③每次实验结束后都要对腔体进行抽真空维护，真空设备不用时必须保持腔体处于真空状态。
（1）影响镀膜质量的因素有哪些？
（2）如何判断镀膜质量的好坏？