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中国自秦始皇兼并六国，开始建成中央集权的一统国家直到今天，两千两百年来，县作为地方行政区划的基层单位始终未变。县以上则经历过极为频繁复杂的变革，概括起来，大致可分为如下几个阶段：
1．秦汉时的郡县二级制。秦从初并天下时的三十六郡增加到末年的四十多个郡，分管大约千把个县。西汉自武帝以后和东汉一代，都是以一百零几个郡级单位（ 郡 、 国即王国 ， 东汉又增加一种属国都尉 ），分管一千几百个县级单位（ 县 、 侯国 、 邑 、 道 ）。
汉武帝先后于公元前106年、公元前89年创建十三刺史部和司隶校尉部，由刺史和司隶校尉分部巡察郡国吏治。成哀之际（ 前 8— 前 5），曾提升刺史为州牧，使州成为郡国的上级，但两年半后即恢复旧制。哀帝死，王莽秉政，又改刺史为州牧，四十二年后东汉光武帝始复改州牧为刺史。但东汉刺史不同于西汉。西汉刺史平时“巡行所部郡国”，“居无常治”，岁尽“诣京都奏事”。有所举劾，得由政府另行派员案验，然后黜退。东汉刺史则常驻在其州部内的固定治所，不再诣京奏事；且其权力亦不再限于举劾，并能对所部郡国官吏径行黜免。到了灵帝末年，为了镇压黄巾起义，又改部分刺史为州牧。不久，州牧或刺史部掌握了兵权，州终于成为统辖几个郡国的大行政区。
2．魏晋南北朝时的州、郡、县三级制。三国魏、蜀、吴三方共有十七州，西晋统一之初共有十九州，末年增至二十一州，领一百七十多郡。经东晋、十六国至南北朝前期，双方合计共有五六十州。南朝自齐梁后，北朝自太和后，州郡建置日益冗滥。往往以一县之地置郡置州，或郡无属县，州无属郡；甚至有些州郡徒有空名，既无土地，亦无户口。梁、东魏、西魏和陈、北齐、周时代，三方合计共有三百多州、六百多郡。魏晋时平均一州领八九个郡，一郡领七八个县，三级制确有其级次相临的作用。演变至平均一州才管二三个郡，一郡才管二三个县，一州所辖不过五六县，三级制已失去意义。故在北朝后期，已只有州刺史和县令到职，郡太守通常并不莅任。隋文帝代周后的第三年（583），便正式裁撤了郡一级，改为以州统县二级制。
3．隋、唐开元前的州、县二级制。
4．唐开元至五代时的道、州、县三级制。隋唐五代凡三百八十年，除隋大业时有十一年（607—618），唐天宝、至德时有十六年（742—758）将州改称为郡外，地方行政区划都是以州统县。全国共有二三百个州，一千四五百个县。但实行单纯二级制的时间只有隋文帝和唐前期共约一百四十年。隋炀帝在改州为郡的同时，效法汉武帝置司隶别驾二人，分案二都畿内；刺史十四人，巡察畿外诸部，每年二月巡郡县，十月入奏。因隋祚于十一年后即覆灭，《隋书》记载太简，这种制度的具体情况已不可考。唐于贞观元年（627）将全国划分为十道，但这种道只是一种地理区划，并不是行政区划。有时虽也由朝廷派遣使者分道执行某种任务，但都是临时措施，事竣即罢。直到开元二十一年（733），将十道分成十五道，才定制每道设一采访处置使，监察吏治，常设不撤。不久，采访处置使的权力逐渐有所扩大，有些道并由掌握兵权的节度使兼领其职，发展到安史之乱期间，全国遍设节度使、防御使等方镇，758年遂罢采访处置使，改由方镇主帅兼任观察处置使；从此，军政上的一镇，便同时都是民政上管辖几个州的一道，确立了道（ 即镇 ）、州（ 包括府 ）、县三级制。全国的道数经常有变动，一般在四五十个之间。每道领州少或二三，多达十余。这种三级制经历二百余年，至北宋初年，才由于方镇兵权的被夺、中央集权的加强而被废止：“罢天下节镇所领支郡”（ 方镇主帅自领一州 ， 其余诸州称支郡 ），“令诸州皆直隶朝廷”。
5．两宋（ 包括金 ）的路、州、县三级制。977年宋太宗废止方镇领州之制时，全国共有三百六七十个州级单位（ 府 、 州 、 军 、 监 ）、县（ 县 、 军 、 监 ），若采用单纯的二级制，真的要由朝廷直接统辖这么多单位，那是难以办到的。因而不久又令原来专司督征运送地方财赋的各路转运使，兼理军民庶政，这样便形成了路、州（ 府 、 州 、 军 、 监 ）、县（ 县 、 军 、 监 ）三级制。北宋先后分全国为十五、十八、二十三、二十四路，南宋分境内为十六或十七路，金分境内为十七、十九、二十路。宋金的路并不等于魏晋南北朝的州或唐安史乱后的道。一路皆同时设置分掌财政、民政、司法、监察、军事、征榷等政的三个或三个以上的“监司”，并非一路诸政掌于一人之手。不同监司的路的划分亦不尽相同：如北宋陕西转运使司分永兴军、秦凤二路，而安抚使司分永兴军、鄜延、环庆、秦凤、泾原、熙河六路；金制辽东分上京、咸平、东京三总管府路，而转运司只为辽东一路，按察司只为上京东京一路。再者，州的政务还有许多是不在监司监领之下的，都可以直达朝廷。所以宋金三级制的实质可以说只有二级半。
6．元以来以省领道、路、府、州、县等的三级或多级制。这个时期长达七百多年，又可分为四期：
（1）元代始以前代的中央临时派遣机构行中书省定为常设的地方最高一级行政区划。初期区划极不稳定，中期稳定为除中书省直辖区（ 腹里 ）外，共设十一行中书省。省下有路、府、州、县四级。前代较大府、州多升为路，县升为州。四级或递相统辖，或越级统辖。州或不领县。所以这时候的地方政区统隶关系，二、三、四、五级都有，而以省统路或府，路府统州或县三级最为普遍。又往往分一省为二三大区，将距省会较远的区划为一道，设宣慰司作为行省的派出机构临治其地。另有设肃政廉访使的道，则为御史台的派出机构，司一道的吏治监察。宣慰司道至元末多改为“分省”，或进一步升为行省。
（2）明洪武九年（1376）废除行省制，在原来一个省区内分设布政使司、按察使司、都指挥司三司，分掌民政、司法监察、军务三政。这与宋代的路分设转运使、提点刑狱、安抚使三司极为相似，而权任有过之，仍然和此前的行省一样，是地方区划中的最高一级。原来的一省至是改称为布政使司，但习俗相沿，仍被称为省，连正式公文亦经常采用。洪武十三年（1380）中央废除中书省，中书省的直辖区改称“直隶”。宣德二年（1427）以后，全国共划分为两京（ 即南北二直隶 ）十三布政使司，俗称两京十三省，或十五省。废除路一级，府、州、县的统隶关系也有多种方式，省县之间或隔一级，或隔二级。每省又分设若干分守道作为布政使司、分巡道作为按察使司的派出机构。
自宣德以后，或因边防有警，或因地方不靖，又陆续在全国各地派出备有中央政府一二品大员职衔的“总督”“巡抚”，集所督抚地区内的军务、察吏、治民大权于一身，遂成为最高级的封疆大吏。督抚的辖区往往不同于布政使司，并且经常变动。所以明代后期的一级地方行政区划，事实上已不是两京十三布政使司，而是三十个左右的总督、巡抚辖区。
（3）清初逐步将督、抚辖区调整成与布政使司一致，终于在康熙初年将十五省分为十八省，正式以督抚为一省之长。有些省单置总督或巡抚，有些省兼置督、抚，则巡抚近于无权闲职。十八省全在明朝故土范围内，清代加入版图的边区的一部分至光绪时亦建省，末年共有二十二省。清代凡隶属于府的州不再领县，故省以下只有府（ 府 、 直隶州 、 直辖厅 ）、县（ 县 、 散州 、 散厅 ）二级。每省仍分设若干道。
（4）辛亥革命前后二三年内废除了府一级，州厅皆改为县，重划道区。于是地方行政成为省、道、县三级制。国民党统治初年废除了道一级，意图行省、县二级制，但在三十年代“剿共”时期，又在江西省首先分区设行政督察专员，未几，各省皆起而仿效。新中国成立后继承了这种区划，初称专区，旋改称地区。这种区划在实际行政上是介于省县之间的一级，但在法制上不是一级地方政府，只是省政府的派出机构。