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2.3 光电器件

典型的光电检测器器件是光电二极管和光电晶体管。典型的光电二极管器件有N+/Psub、P+/N_well、N_well/Psub和P+/N_well/Psub(背对背二极管) [1] ,光电晶体管器件有P+/N_well/Psub(垂直晶体管)、P+/N_well/P+(横向晶体管)和N_well/栅极(并列光电晶体管) [1]

标准光电器件仍需要微透镜和色彩滤波阵列。标准CMOS中光电二极管的量子效率通常低于0.3 [2]

图2.8显示了光电器件的横截面。通常,为改进的CMOS工艺开发的器件有光栅、钉扎光电二极管和非晶硅二极管。这些器件将提高CMOS图像传感器(CIS)的灵敏度。具有低暗电流的钉扎光电二极管为CIS提供了良好的成像特性 [3]

018-01

图2.8 不同的像素结构 4EiY5c6HyxdhgbiYls3mCldw4iMb+rmiPqgE47rmJ7I/u5NAKzqSaV/cQtUNqTHj

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