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备案审查制度是伴随着人民代表大会制度的建立与完善和社会主义法治建设的发展逐步形成并不断发展的。
1954年宪法建立了立法权高度集中的立法体制。同时，建立了以对规范性文件的改变、撤销权为主要内容的立法监督体制。
按照1954年宪法规定，全国人民代表大会有权修改宪法、制定法律、监督宪法的实施，其常委会有权解释法律、制定法令，有权撤销国务院同宪法、法律和法令相抵触的决议和命令，有权改变或者撤销省级国家权力机关的不适当决议。国务院有权改变或者撤销其部门首长不适当的命令和指示，有权改变或者撤销地方各级行政机关不适当的决议和命令。地方各级人大有权改变或者撤销本级人民委员会不适当的决议和命令。县级以上人大有权改变或者撤销下一级人大不适当的决议和下一级人民委员会不适当的决议和命令。县级以上人民委员会有权停止下一级人民委员会不适当的决议和命令，县级以上人民委员会有权停止下一级人大不适当的决议的执行，有权改变或者撤销所属工作部门不适当的命令、指示和下级人民委员会不适当的决议和命令。自治区、自治州、自治县的自治机关可以制定自治条例和单行条例，报请全国人大常委会批准。1954年通过的地方组织法还规定了乡镇人大有权改变或者撤销本级人民委员会不适当的决议和命令。
1975年宪法是“文革”时期制定的，反映了当时很多错误观点，抛弃了1954年宪法很多正确的东西。1975年宪法仅有30条，规定了全国人民代表大会的职权是修改宪法、制定法律，其常委会解释法律、制定法令，国务院发布决议和命令。对于1954年宪法规定的其他立法权和监督权未作规定。如没有规定地方人大及地方政府制定决议、命令的权力以及自治地方制定自治条例和单行条例的权力，没有规定全国人大监督宪法实施的问题，各项改变或者撤销权等有关监督的内容也都没有规定。
粉碎“四人帮”后，第五届全国人大第一次会议于1978年3月5日通过了新的宪法。与1954年宪法相比，在立法监督方面，1978年宪法增加了全国人民代表大会监督法律实施的权力，明确规定了全国人大常委会有权解释宪法和法律，制定法令，改变或者撤销省级国家权力机关不适当的决议。对1954年宪法规定的全国人大、国务院、地方人大有权改变或者撤销事项，大部分没有恢复。这是由于当时历史条件的限制，来不及对建国三十年的经验进行全面总结、对十年“文革”的教训进行深刻反思，思想观念上还不能完全适应现代化建设的客观需要。
1979年7月通过的地方组织法确立了省级国家权力机关的立法权，同时规定了地方立法监督的基本内容。省级人大及其常委会可以制定地方性法规，报全国人大常委会和国务院备案。县级以上地方人大有权改变或者撤销本级政府、下一级人大和政府的决议、命令。县级以上地方人大常委会有权改变或者撤销下一级人大不适当的决议。镇、人民公社人民代表大会有权通过和发布决议，有权改变或者撤销人民公社管委会、镇政府不适当的决议和命令。县级以上地方政府有权发布决议和命令，有权改变或者撤销所属各工作部门不适当的命令、指示和下级政府不适当的决议、命令。
1979年的地方组织法第一次规定了地方性法规的制定和备案，在立法与立法监督制度上有了很大的进步，为1982年宪法作出规定奠定了重要基础。
1982年宪法体现了党的十一届三中全会以后提出的以经济建设为中心、改革开放的路线方针政策，在立法、执法、监督法律实施等方面作出了重大的制度安排。
1．关于立法权
1982年宪法对立法体制作了重大改革：一是规定全国人大常委会有权制定法律，全国人民代表大会修改宪法，制定和修改刑事、民事、国家机构和其他基本法律。全国人大常委会制定大会立法以外的法律，对大会立法进行部分补充和修改。二是规定国务院有权制定行政法规，发布决定和命令，国务院部门有权制定规章，发布命令、指示，赋予了国务院行政法规制定权和国务院部门规章制定权。三是规定地方人大可以制定地方性法规，报全国人大常委会备案。四是规定县级以上地方人民政府有权发布决定和命令。五是规定民族自治地方立法权，民族自治地方人民代表大会有权制定自治条例和单行条例。
2．关于立法监督
1982年宪法确立国家维护社会主义法制的统一和尊严的重要原则，规定了对立法的监督：一是规定宪法具有最高的法律效力，一切法律、行政法规和地方性法规都不得同宪法相抵触。二是规定全国人大及其常委会监督宪法的实施，全国人大有权改变或者撤销它的常委会不适当的决定；全国人大常委会有权解释宪法和法律，有权撤销国务院制定的同宪法和法律相抵触的行政法规、决定和命令，撤销省级国家权力机关制定的同宪法、法律和行政法规相抵触的地方性法规和决议。三是规定国务院有权改变或者撤销其部门不适当的命令、指示和规章，改变或者撤销地方各级国家行政机关不适当的决定和命令。四是规定县级以上地方人大有权改变或者撤销本级人大常委会不适当的决定。县级以上地方人大常委会有权撤销本级人民政府不适当的决定和命令，撤销下一级人大不适当的决议。五是规定县级以上地方人民政府有权改变或者撤销所属工作部门和下级人民政府不适当的决定。六是规定民族自治地方的自治立法须报经批准。自治区的自治条例和单行条例，报全国人大常委会批准后生效；自治州、自治县的自治条例和单行条例，报省或者自治区人大常委会批准后生效，并报全国人大常委会备案。
1982年宪法确立了以全国人大及其常委会为核心的统一分层次的立法体制和立法监督制度，确定了宪法、法律、行政法规、地方性法规、自治条例和单行条例、规章等不同位阶效力法律文件组成的立法体系，为规范性文件备案审查制度的建立提供了宪法依据和制度基础。
1979年地方组织法颁布后，先后于1982年12月、1986年12月、1995年2月、2004年10月和2015年8月作过五次修改。前三次修改对地方立法制度以及立法监督都作了新的规定。（1）1982年修改，增加规定较大的市人大常委会拟定地方性法规草案，提请省、自治区人大常委会审议制定，并报全国人大常委会和国务院备案。增加规定省级人民政府和较大的市的人民政府可以制定规章。（2）1986年修改，规定较大的市人大及其常委会可以制定地方性法规，报省、自治区人大常委会批准，并由省、自治区人大常委会报全国人大常委会和国务院备案；规定县级以上人民代表大会有权改变或者撤销本级人大常委会不适当的决议，县级以上人大常委会有权撤销本级人民政府不适当的决定和命令。（3）1995年修改，完善了省级人民政府和较大的市的人民政府制定规章的程序、备案制度。规定省级人民政府制定规章报国务院和本级人大常委会备案，较大的市的人民政府制定规章报国务院和省、自治区人大常委会、人民政府以及本级人大常委会备案。
可以说，到1995年地方组织法的修改颁布，我国中央与地方立法制度和立法监督制度基本形成，进一步奠定了规范性文件备案审查制度的基础。
2000年3月，第九届全国人大第三次会议通过立法法，对立法制度与立法监督制度作了较为完备的规定。立法法第二章对全国人大及其常委会的立法权作了规定，包括专属立法权、授权立法、立法程序、法律解释（权限、范围和程序）、法律询问答复和立法技术等内容。第三章规定了国务院的立法权，包括制定行政法规的事项、授权立法以及立法程序等内容。第四章规定了地方人大、民族自治地方、国务院部门与地方人民政府的立法权，包括制定地方性法规的事项、权限范围，地方性法规、自治条例和单行条例的批准、立法程序与公布等内容，还专节规定了规章与地方政府规章，明确了制定规章的事项以及制定程序等。第六章附则特别规定了军事法规与军事规章的有关内容。
立法法制定时，除军事立法外各项立法权都已有了法律规定。立法法在立法事项、立法权限范围、立法程序等方面进行了很重要的完善。从宪法、地方组织法到立法法，逐步明确了中央国家机关之间以及中央与地方国家机关之间在立法权上的关系：对中央立法权限不一一列举，立法法只对中央专属立法权明确列举。凡属中央专属立法权的事项，不管中央是否已经立法，地方均不得立法。中央专属立法权范围以外的事项，在中央立法以前，地方可先行立法。一旦中央立法，地方立法不得与中央立法相抵触。在中央的专属立法事项中，明确哪些是全国人大的专属立法事项，国务院对这些事项也不能制定行政法规。
立法法在立法监督方面作出了突破性规定：（1）设置第五章“适用与备案”，专章对备案审查的原则和程序作出一系列明确具体规定。一是规定了法律、行政法规、地方性法规和规章的等级效力。确定的基本原则是：第一，上位法的效力高于下位法。第二，同位法中，特别规定与一般规定不一致时适用特别规定，新规定与旧规定不一致时适用新规定。第三，不能根据效力高低确定如何适用时，如新的一般规定与旧的特别规定不一致，地方性法规与国务院部门规章不一致等，由有关机关裁决。二是对行使改变或者撤销权的条件和权限作了系统、完整的规定。第八十八条首次规定全国人大对它的常委会制定的法律的撤销权，以及授权立法方面的撤销权。三是系统完整地规定了备案制度。四是明确规定赋予国家机关、社会团体、企业事业单位和公民对行政法规、地方性法规、自治条例和单行条例提出审查要求或者审查建议的权力或权利。五是规定了全国人大常委会的备案审查程序，对于其他国家机关的备案审查程序作了授权规定。（2）规定了省、自治区、直辖市人大常委会对较大的市制定的地方性法规进行合法性审查，规定了不与宪法、法律、行政法规、省级地方性法规相抵触的原则，以及四个月的批准期限。
立法法对法律、法规、规章的制定权限、制定程序以及授权立法、法律解释、适用规则和备案审查等所作的规定，对于全面规范立法活动，健全国家立法体制，建立和完善中国特色社会主义法律体系，建立立法监督制度，具有重要意义。立法法的出台标志着我国规范性文件备案审查制度正式确立起来。
监督法于2006年8月由第十届全国人大常委会第二十三次会议通过，2007年7月1日起施行。监督法第五章专章对“规范性文件备案审查”作了规定，主要有两项内容：一是明确地方人大常委会备案审查的范围和程序。规定了立法法规定以外地方国家机关制定的决议、决定、命令等规范性文件的备案审查。授权省级人大常委会参照立法法作出具体规定，并规定了地方人大常委会的审查撤销权及撤销的条件。二是明确规定对最高人民法院、最高人民检察院作出的属于审判、检察工作中具体应用法律的解释即司法解释实行备案审查。规定司法解释报全国人大常委会备案，并规定了国家机关、社会团体、企业事业单位和公民对于司法解释提出审查要求或者审查建议的权力或者权利。同时规定了司法解释备案审查的程序。监督法在法律上首次使用“规范性文件备案审查”这一概念，并补充明确了备案审查的对象和程序，进一步明确了规范性文件备案审查制度的内涵，是对立法监督制度的完善。
司法解释是我国特有的概念，不同于西方国家的法官在司法活动中对法律所作的解释。1955年6月，第一届全国人大常委会第十七次会议通过《全国人民代表大会常务委员会关于解释法律问题的决议》，对司法解释的问题作过规定，“凡关于审判过程中如何具体应用法律、法令的问题，由最高人民法院审判委员会进行解释”。1981年6月，第五届全国人大常委会第十九次会议通过《全国人民代表大会常务委员会关于加强法律解释工作的决议》，明确规定：“凡属于法院审判工作中具体应用法律、法令的问题，由最高人民法院进行解释。凡属于检察院检察工作中具体应用法律、法令的问题，由最高人民检察院进行解释。最高人民法院和最高人民检察院的解释如果有原则性的分歧，报请全国人民代表大会常务委员会解释或决定。”人民法院组织法规定：“最高人民法院对于在审判过程中如何具体应用法律、法令的问题，进行解释。”根据最高人民法院和最高人民检察院的有关规定，“司法解释具有法律效力”。最高人民法院和最高人民检察院还规定，司法解释作为裁判的依据“应当在司法文书中援引”。司法解释是具体适用法律的解释，但其效力却带有一定的普遍性，这是由于司法解释在实际上对普遍性问题进行解释。这与我国国情有关，如改革带来的不稳定性，城乡和地区之间发展的不平衡以及司法队伍的情况等。司法解释经常、反复适用，具有普遍约束力，各级法院和法官都要遵守。司法解释对于我国司法实践中统一适用法律起到了积极作用。但是，实践中司法解释也存在超越权限、违背法律原则或立法原意、司法解释立法化等问题，对法律的正确实施带来一定影响。
根据宪法、人民法院组织法和人民检察院组织法的规定，全国人大常委会具有监督宪法和法律实施的职权。宪法第六十七条规定了全国人大常委会监督最高人民法院、最高人民检察院的职权，这理所当然包括对司法解释制定工作的监督。党中央关于司法体制改革的意见，强调了加强对司法解释监督的必要性。在2004年第十届全国人大第二次会议上，最高人民法院的工作报告中也讲道，要“主动实行司法解释向全国人大常委会报送制度，自觉接受监督”。各个方面在加强人大对规范性文件监督上的认识是一致的，因此，监督法对司法解释的备案审查作了规定。
监督法的颁布实施，使得一个覆盖不同层级、不同性质法律规范，以行政法规、地方性法规、自治条例和单行条例、规章以及司法解释等为监督对象的规范性文件备案审查制度比较完整地建立起来。
党的十八大以来，以习近平同志为核心的党中央高度重视宪法实施和监督，对健全宪法实施监督制度提出了一系列要求。贯彻落实党中央的决策部署，备案审查制度也有了新的长足发展。
2015年3月，第十二届全国人大第三次会议对立法法进行首次修改，适应新时代完善中国特色社会主义法律体系、推进国家治理体系和治理能力现代化、推进全面依法治国、建设社会主义法治国家的要求，对立法体制作出重大调整，赋予设区的市地方立法权，规范规章制定权限，加强规范性文件备案审查，明确对司法解释进行规范和监督。新修改的立法法在立法体制和备案审查方面补充增加的内容主要有：
一是赋予所有设区的市地方立法权。规定设区的市的人大及其常委会在不同宪法、法律、行政法规和本省、自治区的地方性法规相抵触的前提下，可以对城乡建设与管理、环境保护、历史文化保护等方面的事项制定地方性法规。设区的市的地方性法规须报省、自治区的人大常委会批准后施行。省、自治区的人大常委会对报请批准的地方性法规应当进行合法性审查。省、自治区的人大常委会对报请批准的地方性法规进行审查时，发现其同本省、自治区的人民政府规章相抵触的，应当作出处理。
二是将地方政府规章的制定主体扩大到所有设区的市、自治州，以及东莞市、中山市、嘉峪关市、三沙市等四个不设区的地级市人民政府，并对规章制定权作出限制。规定：设区的市、自治州的人民政府制定地方政府规章，限于城乡建设与管理、环境保护、历史文化保护等方面；应当制定地方性法规但条件尚不成熟的，因行政管理迫切需要，可以先制定地方政府规章；规章实施两年需要继续实施规章所规定的行政措施的，应当提请本级人民代表大会及其常委会制定地方性法规；没有法律、行政法规、地方性法规的依据规章不得设定减损公民、法人和其他组织权利或者增加其义务。
三是进一步补充完善了备案审查程序。增加规定：经济特区法规报送备案时，应当说明对法律、行政法规、地方性法规变通的情况；专门委员会和常委会工作机构对报送备案的规范性文件进行主动审查；常委会工作机构审查研究认为行政法规、地方性法规、自治条例和单行条例同宪法或者法律相抵触的，可以向制定机关提出书面审查研究意见；书面审查研究意见提出后，制定机关对同宪法或者法律相抵触的法规不予修改的，常委会工作机构可以向委员长会议提出予以撤销的议案、建议。
四是进一步健全了向审查建议人反馈的机制。明确规定：有关专门委员会和常委会工作机构应当按照规定要求，将审查研究情况向提出审查建议的国家机关、社会团体、企业事业组织以及公民反馈，并可以向社会公开。
2018年3月，第十三届全国人大第一次会议修改宪法，将全国人大“法律委员会”更名为“宪法和法律委员会”。同年6月，第十三届全国人大常委会第三次会议通过关于全国人大宪法和法律委员会职责问题的决定，明确规定宪法和法律委员会在继续承担统一审议法律草案等工作的基础上，增加推动宪法实施、开展宪法解释、推进合宪性审查、加强宪法监督、配合宪法宣传等工作职责。
2018年3月，第十三届全国人大第一次会议修改宪法，确立国家监察体制，明确规定设立国家监察委员会和地方各级监察委员会；国家监察委员会对全国人大及其常委会负责；地方各级监察委员会对产生它的国家权力机关和上一级监察委员会负责。
2019年10月，第十三届全国人大常委会第十四次会议通过决定，授权国家监察委员会根据宪法和法律制定监察法规，明确规定监察法规不得与宪法、法律相抵触，监察法规应当在公布后三十日内报全国人大常委会备案，全国人大常委会有权撤销同宪法和法律相抵触的监察法规。
宪法和立法法的修改，以及全国人大常委会两个决定的出台，进一步明确了备案审查主体职责，扩大了备案审查范围，健全了备案程序、审查方式、纠正程序和审查结果反馈机制，使备案审查制度更趋完善。