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第4章

电容式传感器及其应用

电容器是电子技术的三大类无源元件(电阻、电感和电容)之一,利用电容器的原理,将非电量转化为电容量,进而实现非电量到电量的转化器件,称为电容式传感器。电容式传感器已在位移、压力、厚度、物位、湿度、振动、转速、流量及成分分析的测量等方面得到了广泛的应用。电容式传感器的精度和稳定性也日益提高,高达0.01%精度的电容式传感器国外已有商品供应。一种250mm量程的电容式位移传感器,精度可达5μm。电容式传感器作为频响宽、应用广、非接触测量的一种传感器,是很有发展前途的。 OdOw2zjcBZ79JqGO5UdnK9DiuL5QckHZNKHbSINiFsWY6GCZHmXMPCuZInIefl5P

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