根据法拉第电磁感应定律,块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中做切割磁力线运动时,导体内将产生呈涡旋状的感应电流,此电流叫做电涡流,以上现象称为电涡流效应。
根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。按照电涡流在导体内的贯穿情况,此传感器可分为高频反射式和低频透射式两类,但从基本工作原理上来说仍是相似的。电涡流式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面温度、速度、应力、材料损伤等进行非接触式连续测量,另外还具有体积小、灵敏度高、频率响应宽等特点,应用极其广泛。
如图3-13所示,金属板置于一只线圈的附近,它们之间相互的间距为 x ,当传感器线圈通以正弦交变电流 i 1 时,线圈周围空间必然产生正弦交变磁场 H 1 ,金属板在此交变磁场中会产生感应电流 i 2 ,这种电流在金属体内是闭合的,所以称之为“涡电流”或“涡流”。 i 2 又产生新的交变磁场 H 2 。根据愣次定律, H 2 的作用将反抗原磁场 H 1 ,导致传感器线圈的等效阻抗发生变化。由上可知,线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。而电涡流效应既与被测体的电阻率 ρ 、磁导率 μ 以及几何形状有关,又与线圈几何参数、线圈中激磁电流频率有关,还与线圈及导体间的距离 x 有关。因此,传感器线圈受电涡流影响时的等效阻抗 Z 的函数关系式为
图3-13 电涡流传感器原理图
若改变其中的某两项参数,而固定其他参数不变,就可根据涡流的变化测量该参数。图3-14为电涡流式传感器的等效电路。
图3-14 电涡流传感器等效电路图
由基尔霍夫定律,可列出电压平衡方程为
求解方程得
由此可以求得线圈受金属导体影响后的等效阻抗为
线圈的等效电阻及等效电感为
由此可见,由于涡流的影响,线圈阻抗的实数部分增大,虚数部分减小,因此线圈的品质因数 Q 下降。
式中: Q 0 = 为无涡流影响时的 Q 值; Z 2 = 为短路环的阻抗。
Q 值的下降是由于涡流损耗所引起的,并与金属材料的导电性和距离 x 有关。当金属材料是磁性材料时,影响 Q 值的还有迟滞损耗与磁性材料对等效电感的作用。
由式(3-64)可知,线圈-金属导体的阻抗、电感和品质因数都是该系统互感系数平方的函数。而互感系数又是距离 x 的非线性函数,因此当构成电涡流式位移传感器时, Z = f 1 ( x ), L = f 2 ( x ), Q = f 3 ( x )都是非线性函数。但在一定范围内,可以将这些函数近似地用线性函数来表示,于是在该范围内通过测量 Z 、 L 或 Q 的变化就可以线性地获得位移的变化。