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4.2.1 工程所用材料应符合下列规定：
1 应符合设计要求；
2 应有产品合格证：
3 进场应检验，并应做记录。
4.2.2 工程所用材料、设备和装置的装运方式及储存环境应符合说明书的规定。
4.2.3 设备、材料中转库内应保持干燥、通风，并应便于运输。
4.2.4 厂房内应具备设备安装所需的动力、照明、排风等条件，接地系统设施应通过测试合格。
4.2.5 设备基础应满足安装要求。
4.2.6 安装设备的洁净厂房内应符合下列规定：
1 洁净室的净化空调系统应已经调试完毕、运行正常，达到所需洁净条件，温、湿度应符合工艺设备安装要求；
2 吹淋室等人员净化室应已启用，并应有专人进行管理；
3 防静电工作区的防静电设施应已通过专项测试合格。
4.2.7 厂房消防系统应正常运行。
4.2.8 厂房防微振条件应符合设计要求。
4.2.9 设备安装时应符合下列规定：
1 设备安装时应预留设备操作、维修空间；
2 设备有防微振控制或特别承重要求时，应采取相应的防微振或提高承载能力的措施。
4.2.10 设备需独立基础时应符合下列规定：
1 宜采用金属型材制作独立基础的金属框架，外露表面应平整，上平面不平整度不应大于2mm/2m；
2 安装独立基础时应首先拆除基础范围内的活动地板及支承结构，拆除的支承影响承重时应做好加固；
3 独立基础施工完成后，应补全基础周围的活动地板，基础边沿与活动地板之间的间隙宜小于10mm，并应采用柔性胶条嵌缝。
4.2.11 对作业人员宜进行现场岗前考核，考核合格后方可进行作业。对重要机械设备应专机、专人负责。
4.2.12 进入现场的施工机械应质量可靠、状态良好，特种设备应履行报检程序。
4.2.13 施工进场需要复检的材料应有取样送检证明报告，对质量不合格的材料不得使用。
4.2.14 进入洁净室的设备、材料应进行清洁处理，外表面不得有油污、灰尘。
4.2.15 设备布局、位置坐标应符合下列规定：
1 施工前应明确设备布局，确认设备布置图纸的准确；
2 根据设备布置图确认设备安装基准线。
4.2.16 施工前施工单位应向建设单位提供如下文件：
1 施工方案；
2 人员、机具进场计划；
3 事故应急预案。