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4.1 安装前的储存

4.1.1 开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存,储存环境应干燥、通风,并应便于搬运;暂时存放在露天的生产设备宜垫高,并应采取防火、防潮、防雨措施。

4.1.2 曝光机、MOCVD等生产设备应按设备的储存要求进行储存。

4.1.3 设备储存应有专人管理、建立岗位责任制。

4.1.4 进场的生产设备应及时登记,建立台账。生产设备应挂上标牌、贴上标识,注明设备的名称、规格型号、入库日期等信息。

4.1.5 现场材料保管应有专人负责。现场材料存放环境应防火、防雨、防潮、防损坏。对于易燃、易爆、有毒、有害危险品应有专门库房存放,并应制定安全操作规程。

4.1.6 设备包装开箱应及时按原装箱单清点,当装有震动感应器及倾斜感应器时,应记录是否完好。 AQ95h08I/b+RyygoLZvKeB84k9xdB2K3CXeObXH1BliWjYdWMDcW3+U7uIDqI29/

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