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3.0.1 施工单位应按设计文件、设备安装指南或安装说明书的规定内容进行安装施工；需要设计变更时，应经原设计单位的确认、签证，并应得到建设单位的同意。
3.0.2 在洁净区域不宜进行有水及产尘作业，无法避免时应采取防护措施，作业结束时应及时清理施工现场。
3.0.3 在洁净区域施工时，应采取保证材料、设备及施工现场清洁的措施。
3.0.4 施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备安装进行技术交底并制定施工方案。基本生产工艺流程可按本标准附录A执行。
3.0.5 设备安装前应复查基础外形尺寸、坐标位置、标高、平整度，并应符合设计及设备安装要求。
3.0.6 在室内堆放的施工材料、设备及物品应整齐有序，并应进行标识和记录，重量不得超过楼板的荷载。
3.0.7 施工所使用的各种检验、检测的仪器仪表应在有效期内。
3.0.8 各专业的隐蔽工程，施工结束前应检查和清理施工余料和杂物，隐蔽前应经建设单位或监理人员的验收及认可签证，检验合格后方可进行封闭，并应有现场施工记录和相应影像资料。
3.0.9 在施工过程中或工程竣工验收前，应做好设备、材料及装置的成品保护。
3.0.10 施工中各工序应按本标准进行随工检验和交接验收，并应形成书面记录；上道工序未经检验合格，不得进行下道工序施工。