1．什么是MEMS？
2．简述微机械的工作原理。
3．MEMS的制造技术有哪些？
4．简述MEMS的发展前景。 b5tVxmkVHek6oTk3jT7IH+GIg2ziSKLLQOKNA+vr/BPhGG51kmpq0z42pMewAIlq
