1．什么是MEMS？
2．简述微机械的工作原理。
3．MEMS的制造技术有哪些？
4．简述MEMS的发展前景。 lqkBU7qzFI1TRY6JQ6znxq7N2c49+HA3tPQcLRRKkGI9CL+D2uGJCPszHkY1O+q7
