1．什么是MEMS？
2．简述微机械的工作原理。
3．MEMS的制造技术有哪些？
4．简述MEMS的发展前景。 tFzOT2ip/4/K+5md/T0H4htIGn9apekxfGsIgpJOsPhpnSUe51D25iR6U8qLHxET
