1．什么是MEMS？
2．简述微机械的工作原理。
3．MEMS的制造技术有哪些？
4．简述MEMS的发展前景。 EH9qC1BXJ/vDnd+lBpXhYBPj67lIsrCwMPUyRpDNG+WJLy4TouDjopgb/qwkx6xc
