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1．尺寸
用特定单位表示长度值的数字。
（1）基本尺寸。设计给定的尺寸。
（2）实际尺寸。通过测量所得的尺寸。由于存在测量误差，所以实际尺寸并非尺寸的真值。
（3）极限尺寸。允许尺寸变化的两个界限值，它以基本尺寸为基数来确定。两个界限值中较大的一个称为最大极限尺寸；较小的一个称为最小极限尺寸。
（4）作用尺寸。孔（轴）的在配合面的全长上，与实际孔（轴）内（外）接的最大理想轴（孔）尺寸，称为孔（轴）的作用尺寸。
2．误差
（1）尺寸公差。允许尺寸的变动量。
（2）标准公差。在《公差与配合》国家标准公差数值表中所列的、用以确定公差带大小的任一公差。
（3）基本偏差。用以确定公差带相对于零线位置的上偏差或下偏差，一般为靠近零线的那个偏差。
（4）系统误差。相同条件下多次测量同一量时，误差的大小和正、负保持不变，或随条件变化而按某种确定的规律变化的误差。
（5）随机误差（亦称偶然误差）。相同条件下多次测量同一量时，误差变化无明显规律、当测量次数无限增大时误差呈正态分布的误差。
（6）粗大误差。主要由操作者主观原因造成的，或外界环境突变时导致的误差。
（7）示值误差。指测量器具上的示值与被测量真值的代数差。一般来说，示值误差越小，测量器具的精度越高。
3．检测相关术语
（1）不确定度。由于测量误差的存在而使测量结果不能确定的程度，即表征测量结果分散性的极限。一般以测量“标准偏差”σ表征。其置信区间（测量误差极限）取±2σ或±3σ，其概率分别为95.45%和99.73%。
（2）最大实体状态（简称MMC）。孔或轴具有允许的材料量最多时的状态。
（3）最小实体状态（简称LMC）。孔或轴具有允许的材料量最少时的状态。
（3）修正值。为了消除或减少系统误差，用代数法加到未修正测量结果上的数值。其大小与示值误差的绝对值相等，符号相反。
（4）分辨率。指测量器具所能显示的最末一位数所代表的量值。
（5）灵敏度。指测量器具对测量变化的响应变化能力。
（6）示值范围。指测量器具所能显示（或指示）的被测量最小值到最大值的范围。
（7）测量范围。指测量器具所能测出的最小值到最大值的范围。有些计量器具的测量范围和示值范围是相同的。
（8）被测量。指测量对象，包括被测零件的长度、角度、几何形状、相互位置以及表面粗糙度等几何量。
（9）测量。一般指确定被测对象的量值而进行的实验过程。即将一个被测量与一个作为测量单位的标准量进行比较，确定测量对象是标准单位量的若干倍或几分之几。
（10）测量重复性。指在相同的测量条件下，对同一被测“量”进行多次测量时，各测量结果之间的一致性。通常以测量重复性的极限值（正负偏差）来表示。
（11）检验与测量的区别。“检验”比“测量”的含义更广泛一些。对于零件几何量的检验，通常只判断被测零件是否在合格范围内确定其是否合格，而不一定要确定其具体的测量值。对于金属内部质量的检验、表面裂纹的检验等，则不能用“测量”这一概念。