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本章主要介绍了电磁波测距仪和全站仪。1948年，瑞典AGA公司研制成功了世界上第一台电磁波测距仪AGA NASM 2A，它采用白炽灯发射的光波作载波，为避开白天太阳光对测距信号的干扰，只能在夜间作业。虽然它体积大，操作复杂，但因测程远、精度高，可以代替长距离的基线测量，因而得到发展，使距离测量的仪器进入了一个新的时代。
1968年AGA公司又推出了世界上第一台商品化的激光测距仪AGA-8。曾在我国天文大地网和特级导线的边长测量中发挥过巨大作用。激光测距仪的优点是测程远、精度高，可以昼夜观测。在发展光电测距仪的同时，用电磁波作为载波的测距仪也得到了发展。20世纪80年代推出的CMW20微波测距仪，采用了独特的仪器结构减弱了地面发射误差的影响，揭开了微波测距仪用于工程测量的序幕。
20世纪60年代末期，联邦德国奥普托公司在1968年生产出世界第一台全站型电子速测仪，对测绘事业起到很大的推进作用。随后，在70年代，各个国家的测绘仪器生产厂家竞相研制，是全站仪生产相对稳定和探索的阶段，随着电子测角技术和数据处理与存储性能的提高，全站仪在20世纪80年代得到了迅速的发展。20世纪90年代，全站仪的功能进一步丰富和完善，并在测绘等领域得到普遍应用。
全站仪有整体式和组合式两种。组合式全站仪是电子经纬仪和光电测距仪及电子手簿组合成一体，并通过电子经纬仪两个数据输入输出接口与测距仪相连接组成的仪器。它也可以将测距部分和测角部分分开使用。
整体式全站仪是测距部分和测角部分设计成一体的仪器。它可同时进行水平角、垂直角测量和距离测量；望远镜的光轴（视准轴）和光波测距部分的光轴是同轴的，并可通过电子处理记录和传输测量数据。整体式全站仪系列型号很多，国内外生产的高、中、低各等级精度的仪器达几十种。
现在的红外测距仪已经和电子经纬仪及计算机软硬件制造在一起，形成了全站仪，并向着自动化、智能化和利用蓝牙技术实现测量数据的无线传输方向飞速发展。