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光束探测设备测量点与点之间的总遮光率。要定义光束探测设备，用户可以通过在公用菜单中点击Devices菜单，然后点击新建光速监测设备命令（New Beam Detector Device…），弹出如图4.11所示对话框。
图4.11 光束探测设备对话框
光束探测设备相关参数描述见表4.10。
表4.10 光束探测设备的属性
光束探测设备也可用于设置激活参数，在启动设定点（Enable Setpoint）输入激活的遮光率，用户也可以在选框中选择激活次数和激活时间。光束探测设备最后输出结果是沿着路径的遮光率百分数。