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汉语研究到了清代达到了鼎盛时期，音韵、文字、训诂研究都在前人研究的基础上大大进了一步，获得了空前未有的成就；清末马建忠《马氏文通》的问世，更开创了现代科学意义上的汉语研究。
清代的汉语研究，古音研究的成就最突出，出现了一大批成就卓著的古音学家，其代表人物是顾炎武、江永、戴震、段玉裁、孔广森、王念孙、江有诰、钱大昕等。
上面谈到，明代万历年间陈第的《毛诗古音考》，在古音研究方面起了承前启后的作用。不过他只是用大量证据来证明《诗经》中的一些字确属古音，但没有能概括出古韵分部，看不到上古音的体系，更不能知道从上古音到中古音的变化规律。顾炎武（公元1613—1682年）继承了陈第语音变化的时地理论，在大量占有资料的基础上，深入研究，细致分析，写就《音学五书》，首创分古韵为十部，从而为清代古音学奠定了基础。他被后人誉为清代古音学的奠基人，而他那种重资料、广求证的治学态度和严谨学风更成为后学的楷模。
顾炎武在古音的考证方面很有功力，但“审音之功浅”。江永（公元1681—1762年）则既以考据见长，又善于音理，注重审音。他在《古韵标准》里将古韵分为十三部，其中特别是将顾炎武的鱼、萧两部改分为鱼、萧、侯三部，这是一种进步。此外江永将入声分为八部，并认为此八部可属阴声韵，也可属阳声韵。此说可说是后来的阴、阳、入通转之说的萌芽。
戴震（公元1723—1777年）曾问学于江永。他博闻强记，通晓经学、数学、天文、历史、地理和音韵训诂之学，特别精通音理，因此他在古音研究上与前辈有所不同，那就是注重规律的探索。他所著的《声韵考》和《声类表》，在前人研究的基础上，从分析《广韵》系统入手，并注意区别等呼洪细和韵类异同，创古音九类二十五部，分部更为合理。他的阴、阳、入相配之说和阴、阳、入对转的想法，成为后来阴阳对转之发端；他在古音研究上的审音之功为人所公认。
段玉裁（公元1735—1815年）师事戴震，他最大的成就在训诂方面，《说文解字注》是他这方面的代表作。在古音研究方面虽起步较晚，但同样作出了杰出的成绩。他作《六书音均表》，分古韵为六类十七部，其中特别是将支、脂、之分别立为三部，侯部独立，这都是段玉裁创见，是对古音学的重大贡献，学术界均给以很高评价。段玉裁所以会在古音研究上取得重大成就，这是因为他从《说文》和古音的研究中得出了“同声必同部”的理论认识，把音韵的研究跟汉字形声、假借的理论结合起来，这就把古音研究推进了一步。此外，他认为古无去声，这也为后代多数学者所肯定。
孔广森（公元1752—1786年）是戴震的弟子，继承了戴震和段玉裁之学，著有《诗声类》。他在古音学上的贡献在于：第一，主张东、冬分部，资料证明，他这个看法是符合古音实际的；第二，明确提出了阴阳对转的学说。孔氏的阴阳对转之说，包含了两方面的内容：一是说古音中常有一些阴声字转变为阳声字，反之，也有一部分阳声字转变为阴声字；二是与阴阳字相配的入声字是阴阳对转的枢纽。阴阳对转之说揭示了汉语语音变化的一种规律。不过孔氏在研究上比较主观，譬如他把古韵分为十八部，阴阳各九部，片面追求整齐；又如他根据自己母语里没有入声，就推断“古无入声”，这些就都不符合古音实际了。
王念孙（公元1744—1832年）主要的成就在训诂方面，《广雅疏证》是他的代表作。在古音研究方面，他先著有《诗经群经楚辞韵谱》，将古韵分为21部，也提出了支、脂、之应分为三部，尤、侯应分为两部的看法。这些看法虽然段玉裁已经在《六书音均表》里明确提出，创新之功不能归于他，但王氏提出他的看法之前并未见到段氏之作。这足见英雄所见略同。晚年在古韵分部上，新增冬部，重定为22部。
江有诰（公元？—1851年）对古韵也极有研究，撰有《音学十书》，将先秦古韵分为21部，其中一些分部，或与戴氏相同，或与王氏相近。清代古韵研究至此，大家看法逐渐趋向一致，将至部独立，定古韵为22部。对于上古声调问题，江氏肯定地认为上古有四声，他是中国音韵学史上第一个非常肯定地提出古有四声的学者。
清代古音学家大多重视古韵的研究。开始重视古声母研究并取得卓越成就的，当首推钱大昕（公元1728—1804年）。钱大昕在古声母研究上的最大贡献是：（1）提出古无轻唇音；（2）提出古无舌上音。这是两项卓越的发现，已为学术界所公认。
清代古音学家，从顾炎武到江有诰，他们的语言观比较进步，他们在研究上，重资料，广求证，方法科学，治学严谨，在古韵分部上，在声母研究上，成绩卓著。汉字不标音，清代学者能做出如此大的成绩，真是难能可贵，不能不让后人敬佩。
清代是中国古代在汉语研究上全面发展的时期。不仅古音研究成绩卓著，在文字学、训诂学、方言学等方面也都有显著的成就。这特别反映在清人对秦汉所诞生的《尔雅》、《方言》、《说文解字》、《释名》的整理、校勘、考证和进一步的研究、分析上。上述四大部著作，经清人的努力，得以发扬光大。这里我们择要介绍清人对《尔雅》、《说文》的研究。
《尔雅》一书历来受到重视，自汉武帝始，选取经学博士，要求必须精通《尔雅》。历代《尔雅》之学不绝，清之前当推郭璞的《尔雅注》为首。清代学者也极为重视《尔雅》的研究。从戴震开始，直至清末刘师培，对《尔雅》疏解补证、考释辑佚不断，各有贡献。其中影响最大的，当推邵晋涵（公元1743—1796年）的《尔雅正义》和郝懿行（公元1755—1823年）的《尔雅义疏》。《尔雅正义》是清代第一个对《尔雅》进行全面新疏的著作。该书以郭注为本，详为增校，并博采历代各家之注，一一书于郭注之下，以补郭注之未详，对历来未训或少训之字，则取声近之字，旁推以明其说。因此学术界对该书的评价都比较高，普遍认为该书疏通证明了郭注和历代注疏未详未闻之说。《尔雅义疏》是郝懿行的毕生力作。该书的突出特点是“据目验考释草木虫鱼”，描述翔实、准确，胜过各家注疏。该书也继承了郭璞以古释今的精神，常常引用方言口语和俗名，使时人更一目了然。该书在引时贤之说时一一注明，不掠人之美。
这里附带说一下王念孙的《广雅疏证》。王念孙，我们在上面已经介绍过他在古音研究方面的成就，这里简单说说他在训诂方面的代表作《广雅疏证》。该书首先对《广雅》作详细的校勘，匡正不少；接着根据丰富的文献资料对《广雅》进行详明的疏证。所据文献，上至唐以前的诸种经史子集，下至唐以后的类书和同时代的著述，“凡立说有可取之处，无不采揽”；在注疏中还注重目验。“就古音以求古义”，是该书的最大创举。
清代《说文》研究始于乾隆年间惠栋所著《读说文记》。其后，江永、戴震、段玉裁直至清末王国维，研究者多达200余人。清代的《说文》研究，概括起来大致有四个方面：一是对《说文》进行校勘、考证；二是对《说文》进行刊误、匡正；三是对《说文》作全面研究，并加以阐发；四是对先辈或同代学者的著作进行补充订正。其中，大家公认段玉裁、桂馥（公元1736—1806年）、王筠（公元1784—1854年）、朱骏声（公元1788—1858年）的《说文》研究最为重要，被学术界誉为“《说文》四杰”。
段玉裁的《说文解字注》前后编写达40年之久。此书对《说文》的研究，形音义并重，并“三者互推求”，所以一问世就被视为注释《说文》的权威性著作。该书的贡献是多方面的，最突出的有两方面：一是阐明了许慎《说文解字》的体例；二是开创了具有语言学意义的汉语词汇研究，虽没有用“词”这个术语，但实际讨论到了字词关系、词的音义关系、词义的发展变化及其规律、词的多义性、词的本义跟引申义假借义之间的关系、同义词辨析等一系列词汇学上的问题。
桂馥研究《说文》的成果是五十卷的《说文解字义证》，这是他毕生的力作。该书重义，先列字的本义，并举例证明，接着就博引古籍、罗列群说，来证实、补充或参证许氏的说解，所引例证材料十分丰富，经史子集无所不包。凭一个人的精力，能完成这样的巨著，实在是难能可贵。桂氏和段氏只差一岁，据记载，他们二人都研究《说文》，但从未见过面，也都没有见过对方的著作。当然，二者相比，段氏形音义并重，述中有作，多有创见；桂氏偏于义，例证材料齐备而丰富，然述而不作。因此，二人在学术界虽都享有盛誉，其研究成果对后人《说文》研究都影响很大，但段氏之作更胜一筹。
王筠比段、桂二氏晚30多年，当时段、桂二氏之作已享有盛名，研究《说文》的人也已很多。王筠则脱颖而出，在《说文》研究方面做了许多别人不注意和没有做的工作。一是对《说文》的条例、体制方面的许多概念术语和问题，如“说解”、“重文”、“叠文”、“读若”等，作了精细的解释与说明，对后世研究《说文》很有帮助。二是对《说文》以及包括段、桂二氏在内的诸家研究《说文》的书里存在的疑惑与问题，特别是字形字义方面的，一一指出，并常常用金石古文来加以补正。以上两点在《说文释例》一书中反映得比较突出。三是做《说文》的普及化工作，他的《说文句读》便是在包括段、桂二氏在内的诸家研究《说文》的基础上，删复举要编写而成，以便于初学，而他的《文字蒙求》更是一本儿童学字的启蒙课本。
朱骏声在《说文》研究方面的力作是《说文通训定声》。朱氏的“说文”、“通训”、“定声”，实际就包括了对《说文》字形、字义、字音三方面的研究。反映在《说文通训定声》中，朱氏在字形研究方面，除了在《说文》的基础上增收了7000多字外，他对《说文》的形声字作了统计，总计为8057个，并从中分析出形声字声符（朱氏称为声母）1137个，并对所收汉字着重依据六书中的四书（象形、指事、会意、形声）进行了细致的分析；在字义研究方面，除研究字的本义外，着重深入研究字的“别义”，即转注与假借，这对后人研究词义的发展变化很有意义；在字音研究方面，他把古韵并为18部，并一改《说文》的编排法，全书按他所定的18部来排列，在考定字音时，主要用上古韵文的用韵来证明字的古音。
清代还有三部官方组织编著的辞书，那就是康熙年间的《佩文韵府》、《康熙字典》和嘉庆年间的《经籍籑诂》。《佩文韵府》以平水韵106韵分卷，一个韵一卷。这部辞书当时的用途是供文人作文时查找词藻，但它保存了不少魏晋以下的语言资料，对研究中古汉语和近代汉语有一定用处。《康熙字典》以它收字多、义项齐备、附有用例而为后人所重视。《经籍籑诂》，顾名思义，是一部网罗经传旧注、经传本文古训资料和各种字书辞书里的注释的一部工具书，虽然错误不少，但在资料查找上有参考价值。
“小学”，在先秦原指语言文字方面的学习；汉代刘向、刘歆父子第一次把文字学（具体指字书及六书之学）称为小学；宋代，“小学”才指文字、音韵、训诂之学。小学发端于先秦，创立于西汉，发展兴盛于魏晋至元明清。清末，到了它的终结期，孙诒让（公元1848—1908年）便是小学终结期的最后一位杰出的代表人物。他在“经子训诂”方面成就很高，其《周礼正义》被誉为“清代《十三经》新疏之冠”。
晚清汉语研究还有一些新的发展，这主要表现在两方面：一是因甲骨文的出土而推动的古文字研究；二是西方文化传入而兴起的汉语语法研究。
古文字研究始于北宋。北宋吕大临开始辨识金文。清代段玉裁、阮元（公元1764—1849年）、吴大澂（1835—1902）也都对金文、钟鼎文有所研究，但主要用以明古义，其中多有随意推测。清末在河南安阳发现甲骨文，1899年王懿荣认定为殷商文字，从事收集。孙诒让是第一个考释甲骨文的学者。他先攻金文，后又考释甲骨文，其研究特点是将古文字考释与古史考证相结合——以古文字探求汉字历史演变规律，以古文字作为证经说字的依据，以古文字作为古制、古史考证的手段。他的《契文举例》考释了不少甲骨文，他的代表作《名原》，是他研究金文、甲骨文的结晶，被誉为现代古文字学的开山之作。孙诒让之后，古文字考释、研究出现了热潮，最有成就的是罗振玉、王国维、郭沫若等，不过他们都算作清代以后的学者了。
语法研究，前面说到如果把虚词研究也作为汉语语法研究的一部分，那么我们可以说，汉语语法研究从虚词研究开始，而汉语虚词系统研究就开始于元代，那就是元代卢以纬的《语助》。清代在虚词研究方面有新的成果，重要的有袁仁林的《虚字说》、刘淇的《助词辨略》和王引之（公元1766—1834年）的《经传释词》。袁仁林的《虚字说》收单音节虚词60多个，还收了一些复音虚词。这是为蒙童编写的，值得肯定的一点是注意从上下文中来分析说明虚词的用法。刘淇的《助词辨略》收字476个。如果说，卢以纬的《语助》和袁仁林的《虚字说》是从辞章学的角度来注释的话，那么刘淇的《助词辨略》和下面要介绍的王引之的《经传释词》则可以说是从训诂的角度来注释的。刘淇的《助词辨略》的主要贡献在于第一次对虚字进行了分类的尝试，而对虚字的作用既注意到了语气，也注意到了关系。王引之的《经传释词》收字160个，专释周秦两汉古籍里的虚字。该书的最大特点是，根据虚字所在的例句推究虚字的意义与用法，同时依据他父亲的教导贯彻“声义互求”的原则。但真正系统地研究汉语语法，是从《马氏文通》开始的。马建忠的《马氏文通》（1898年）的问世，不仅是清末汉语研究的一件大事，也是中国语言学史上的一件大事，这在中国语言学史上是一部划时代的著作，它开创了中国现代语言学。