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1-22章
共22章
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编写委员会
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前言
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实验一 衬底清洗实验
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实验二 化学气相沉积技术镀膜实验
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实验三 等离子体增强化学气相沉积技术镀膜实验
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实验四 磁控溅射技术镀膜实验
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实验五 电阻式热蒸发技术镀膜实验
实验六 基于光谱扫描色度计的实时在线检测方法
实验七 旋涂法
实验八 快速热退火实验
实验九 光刻实验
实验十 反应离子刻蚀实验
实验十一 扫描电子显微镜结构表征
实验十二 能谱元素(EDS)分析
实验十三 四探针电阻率测量
实验十四 拉曼光谱实验
实验十五 荧光光谱实验
实验十六 材料的光透射与吸收测量实验
实验十七 傅立叶红外光谱实验
实验十八 太阳能电池伏安特性测量
实验十九 长余辉材料制备
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